西安奕斯偉材料科技有限公司張婉婉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安奕斯偉材料科技有限公司申請的專利一種晶圓表面損傷深度測量方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114267589B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111619776.8，技術領域涉及：H01L21/324；該發明授權一種晶圓表面損傷深度測量方法及系統是由張婉婉;韓聰設計研發完成，并于2021-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓表面損傷深度測量方法及系統在說明書摘要公布了：本發明實施例公開了一種晶圓表面損傷深度測量方法及系統；該方法包括：將待測晶圓置于氮氣氛圍下進行熱處理；將完成熱處理的待測晶圓進行裂解獲并按照設定的選取策略選擇待測樣品；將所述待測樣品進行角度拋光后在拋光的斜截面進行刻蝕；根據經過刻蝕后的斜截面形貌測量所述晶圓樣品表面損傷深度。
本發明授權一種晶圓表面損傷深度測量方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種晶圓表面損傷深度測量方法，其特征在于，所述方法包括： 將待測晶圓置于氮氣氛圍下進行熱處理，以使得所述待測晶圓表面形成氮化硅膜； 將完成熱處理的待測晶圓進行裂解并選擇待測樣品； 將所述待測樣品進行角度拋光后在拋光的斜截面進行刻蝕； 根據經過刻蝕后的斜截面形貌測量所述待測樣品表面損傷深度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安奕斯偉材料科技有限公司，其通訊地址為：710065 陜西省西安市高新區西灃南路1888號1-3-029室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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