北京華卓精科科技股份有限公司趙文成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京華卓精科科技股份有限公司申請的專利一種硅片傳輸裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115547901B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110731346.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種硅片傳輸裝置是由趙文成;胡海;黃承錦設計研發完成，并于2021-06-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種硅片傳輸裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種硅片傳輸裝置，涉及半導體制造裝備技術領域，為解決現有硅片傳輸裝置在傳輸硅片過程中易造成硅片碎裂的問題而設計。該硅片傳輸裝置包括底座、安裝于底座的Epin部件和用于驅動Epin部件沿Z向移動的驅動部件，Epin部件包括中心骨架和環繞中心骨架設置的多個吸附頭組件，其中，中心骨架與驅動部件傳動連接，吸附頭組件通過彈性支撐部件與中心骨架連接，彈性支撐部件被配置為向吸附頭組件提供沿Z向的彈性支撐力。本發明提供的硅片傳輸裝置能夠減少甚至避免硅片傳輸過程中的碎裂情形。
本發明授權一種硅片傳輸裝置在權利要求書中公布了：1.一種硅片傳輸裝置，其特征在于，包括底座100、安裝于所述底座100的Epin部件200和用于驅動所述Epin部件200沿Z向移動的驅動部件，所述Epin部件200包括中心骨架210和環繞所述中心骨架210設置的多個吸附頭組件220，其中，所述中心骨架210與所述驅動部件傳動連接，所述吸附頭組件220通過彈性支撐部件230與所述中心骨架210連接，所述彈性支撐部件230被配置為向所述吸附頭組件220提供沿Z向的彈性支撐力；所述彈性支撐部件230包括第一彈片231，所述第一彈片231包括第一環形部232和與所述第一環形部232固定連接的多個第一分支部233，其中，所述第一環形部232與所述中心骨架210固定連接，且多個所述第一分支部233沿所述第一環形部232的周向間隔設置，多個所述吸附頭組件220分別一一對應地安裝于多個所述第一分支部233。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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