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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京華卓精科科技股份有限公司申請的專利一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置及檢測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115497859B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110674511.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置及檢測方法是由熊朋;張豹;邢浩設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置及檢測方法，涉及半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有晶圓鍵合強(qiáng)度檢測方式結(jié)構(gòu)復(fù)雜、占用空間大的問題而設(shè)計(jì)。該鍵合強(qiáng)度檢測裝置包括機(jī)架、刀片、到位模塊、用于監(jiān)測晶圓是否處于水平姿態(tài)的傳感模塊以及用于采集所述晶圓表面裂紋信息的采集模塊，機(jī)架包括用于承托晶圓的承托部和用于限制晶圓沿X向和Y向移動自由度的定位部；到位模塊與定位部分設(shè)于承托部的兩側(cè)，到位模塊被配置為使晶圓與定位部抵接；刀片可移動地設(shè)置于機(jī)架，用于伸入晶圓的鍵合界面；傳感模塊安裝于機(jī)架；采集模塊與機(jī)架相對固定地設(shè)置，且位于承托部的上方。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、占用空間小。

本發(fā)明授權(quán)一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置及檢測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種鍵合強(qiáng)度檢測裝置，其特征在于，包括機(jī)架100、刀片200、到位模塊300、用于監(jiān)測晶圓900是否處于水平姿態(tài)的傳感模塊400以及用于采集所述晶圓900表面裂紋信息的采集模塊500，其中，所述機(jī)架100包括承托部110和定位部120，所述承托部110被配置為承托所述晶圓900，所述定位部120被配置為限制所述晶圓900沿X向和Y向的移動自由度；所述到位模塊300與所述定位部120分設(shè)于所述承托部110的兩側(cè)，所述到位模塊300被配置為使所述晶圓900與所述定位部120抵接；所述刀片200可移動地設(shè)置于所述機(jī)架100，所述刀片200被配置為伸入所述晶圓900的鍵合界面；所述傳感模塊400安裝于所述機(jī)架100；所述采集模塊500與所述機(jī)架100相對固定地設(shè)置，且所述采集模塊500位于所述承托部110的上方；所述傳感模塊400包括多組對射傳感器，多組對射傳感器沿所述晶圓900的周向分散排布，每組所述對射傳感器均包括信號發(fā)射端411和信號接收端412，所述信號發(fā)射端411和所述信號接收端412沿所述晶圓900的徑向設(shè)置于所述晶圓900的兩側(cè)。

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