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龍圖騰網獲悉江蘇魯汶儀器有限公司申請的專利一種用于離子源的防導電柵極固定結構及安裝方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115376872B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110541464.3，技術領域涉及：H01J37/08；該發明授權一種用于離子源的防導電柵極固定結構及安裝方法是由張瑤瑤;劉小波;張懷東;胡冬冬;楊超全;李曉磊;高強;許開東設計研發完成，并于2021-05-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于離子源的防導電柵極固定結構及安裝方法在說明書摘要公布了：本發明屬于離子束刻蝕相關配件技術領域，尤其是一種用于離子源的防導電柵極固定結構及安裝方法，包括圓形的柵極支撐，柵極支撐的平面開設有同心的第一固定圓槽、第一安裝圓槽、第二固定圓槽、第二安裝圓槽、第三固定圓槽、第三安裝圓槽；六個圓槽直徑依次減小，六個圓槽距離柵極支撐平面的深度依次增加；第一安裝圓槽、第二安裝圓槽、第三安裝圓槽上分別安裝有減速柵、加速柵、屏柵，第一安裝圓槽、第二安裝圓槽、第三安裝圓槽上具有螺紋孔，減速柵、加速柵、屏柵分別通過螺釘固定于螺紋孔內。本發明將Grid分別固定在柵極支撐上，可有效保證三個柵極訂定位精確，避免柵極周圈若干定位孔，可以增加柵的強度，同時大大減少維護周期。

本發明授權一種用于離子源的防導電柵極固定結構及安裝方法在權利要求書中公布了：1.一種用于離子源的防導電柵極固定結構，其特征在于：包括圓形的柵極支撐（5），柵極支撐（5）的平面開設有同心的第一固定圓槽（6）、第一安裝圓槽（7）、第二固定圓槽（8）、第二安裝圓槽（9）、第三固定圓槽（10）、第三安裝圓槽（11）； 所述第一固定圓槽（6）、第一安裝圓槽（7）、第二固定圓槽（8）、第二安裝圓槽（9）、第三固定圓槽（10）、第三安裝圓槽（11）的直徑依次減小，所述第一固定圓槽（6）、第一安裝圓槽（7）、第二固定圓槽（8）、第二安裝圓槽（9）、第三固定圓槽（10）、第三安裝圓槽（11）距離柵極支撐（5）平面的深度依次增加； 所述第一安裝圓槽（7）上安裝有減速柵（2），第二安裝圓槽（9）上安裝有加速柵（3），第三安裝圓槽（11）上安裝有屏柵（4）； 所述第二固定圓槽（8）和第三固定圓槽（10）內分別布置一圈物質沉積槽（12）； 物質沉積槽（12）的下部寬度大于上部；第二固定圓槽（8）的物質沉積槽（12）沿第二固定圓槽（8）的外邊緣布置，與減速柵（2）之間具有間隙；第三固定圓槽（10）的物質沉積槽（12）沿第三固定圓槽（10）的外邊緣布置，與加速柵（3）之間具有間隙。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇魯汶儀器有限公司，其通訊地址為：221300 江蘇省徐州市邳州市經濟開發區遼河西路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。