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龍圖騰網獲悉北京華卓精科科技股份有限公司申請的專利硅片傳送工裝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112563173B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011530416.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權硅片傳送工裝是由趙文成;胡海;黃承錦設計研發完成，并于2020-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本硅片傳送工裝在說明書摘要公布了：本發明提供一種硅片傳送工裝，涉及半導體技術領域。該硅片傳送工裝包括支承臺和基座，基座安裝于支承臺的頂板，支承臺安裝有調節組件，調節組件與基座連接，用于調節基座于支承臺的位置；基座安裝有驅動組件，驅動組件的驅動端連接有用于承載硅片的承載件。該硅片傳送工裝中的調節組件能夠提高基座及其上驅動組件和承載件安裝于支承臺的位置及水平度精度，從而確保驅動組件及承載件對硅片傳送行程的精度，進而確保第二工位對硅片的光刻等加工精度，提高芯片產品的加工質量。

本發明授權硅片傳送工裝在權利要求書中公布了：1.一種硅片傳送工裝，其特征在于，包括支承臺100和基座200，所述基座200安裝于所述支承臺100的頂板110，所述支承臺100安裝有調節組件，所述調節組件與所述基座200連接，用于調節所述基座200于所述支承臺100的位置；所述基座200安裝有驅動組件300，所述驅動組件300的驅動端連接有用于承載硅片800的承載件； 其中，所述調節組件包括第一調節部件500和第二調節部件600，所述第一調節部件500包括抵頂螺栓510和鎖緊螺栓520，所述頂板110設有調節區，所述調節區設有抵頂螺紋孔111和鎖緊螺紋孔112，所述基座200設有與所述鎖緊螺紋孔112相對應的鎖緊孔210，所述鎖緊螺栓520的螺柱自頂部穿過所述鎖緊孔210并螺紋連接于所述鎖緊螺紋孔112，鎖緊螺栓520的螺頭隔擋于鎖緊孔210外側；所述抵頂螺栓510的螺柱自底部螺紋連接于所述抵頂螺紋孔111，且伸出所述抵頂螺紋孔111的端部抵頂于所述基座200的底部；所述第一調節部件500、所述調節區和所述鎖緊孔210均為多組且一一對應，且多個所述調節區非共線設置； 所述第二調節部件600包括第一連接座610、調節螺栓620和調節螺母630，所述第一連接座610固設于所述頂板110于所述基座200側部的位置，所述第一連接座610設有連接孔611，所述調節螺栓620的螺柱穿過所述連接孔611并連接于所述基座200的側壁；所述調節螺母630螺紋連接于所述調節螺栓620，且所述調節螺母630位于所述第一連接座610與所述調節螺栓620的螺頭之間；所述第二調節部件600為兩個，兩個所述第二調節部件600沿所述基座200的長度方向間隔排布。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京華卓精科科技股份有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區經海路156號院10號樓4層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。