清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司張科獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司申請的專利電子束檢測裝置及檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114646995B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011497804.9，技術領域涉及：G01T1/29；該發明授權電子束檢測裝置及檢測方法是由張科;陳果;柳鵬;姜開利;范守善設計研發完成，并于2020-12-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子束檢測裝置及檢測方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種電子束檢測裝置，包括：一法拉第杯，該法拉第杯具有一開口；一多孔碳材料層，該多孔碳材料層設置在所述法拉第杯的表面且在所述開口處懸空設置，該多孔碳材料層懸空的長度大于等于待測電子束的最大直徑；以及一電表，該電表與所述多孔碳材料層電連接，用于測試待測電子束和多孔碳材料層相對移動過程中多孔碳材料層中的電荷形成的電信號，并根據電信號隨著待測電子束和多孔碳材料層相對移動的距離的變化，得到待測電子束的尺寸。本發明還提供一種采用上述電子束檢測裝置檢測電子束的檢測方法。
本發明授權電子束檢測裝置及檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種電子束檢測裝置，包括： 一法拉第杯，該法拉第杯具有一開口； 一多孔碳材料層，該多孔碳材料層為一多孔碳材料線狀結構或一多孔碳材料條狀結構，該多孔碳材料層設置在所述法拉第杯的表面且在所述開口處懸空設置，該多孔碳材料層懸空的長度大于等于待測電子束的最大直徑，該多孔碳材料線狀結構的直徑以及該多孔碳材料條狀結構的寬度均小于待測電子束橫截面的最小直徑，該多孔碳材料層由多個碳材料顆粒組成，該多個碳材料顆粒之間存在納米級或微米級的間隙；以及 一電表，該電表與所述多孔碳材料層電連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人清華大學;鴻富錦精密工業(深圳)有限公司，其通訊地址為：100084 北京市海淀區清華大學清華-富士康納米科技研究中心401室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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