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龍圖騰網獲悉無錫冠亞恒溫制冷技術有限公司申請的專利一種半導體晶圓卡盤獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120453226B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510945722.2，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權一種半導體晶圓卡盤是由顏厥枝;顧海山;吳錫灶;劉肖肖設計研發完成，并于2025-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體晶圓卡盤在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓加工技術領域，公開一種半導體晶圓卡盤，包括，固定套環，其上設有用于卡接并固定晶圓的限位槽；熱烘轉盤，其設置于所述固定套環一側，且兩者之間具有空氣間隙；所述熱烘轉盤遠離所述固定套環的一面設有熱源，其朝向所述固定套環的一面形成發熱面，所述熱源產生的熱量在所述空氣間隙內形成熱輻射層；所述固定套環的中心和所述熱烘轉盤的盤心共線；驅動源，其動力輸出端連接所述熱烘轉盤和所述固定套環；通過熱源和晶圓的非接觸式設計，配合熱源的相對轉動形成熱輻射場，實現對熱源溫度均勻的控制，保證晶圓升溫降溫時的溫度穩定，起到防止晶圓表面溫度不均勻導致的結構損壞的效果。

本發明授權一種半導體晶圓卡盤在權利要求書中公布了：1.一種半導體晶圓卡盤，其特征在于：包括， 固定套環，其上設有用于卡接并固定晶圓的限位槽； 熱烘轉盤，其設置于所述固定套環一側，且兩者之間具有空氣間隙；所述熱烘轉盤遠離所述固定套環的一面設有熱源，其朝向所述固定套環的一面形成發熱面，所述熱源產生的熱量在所述空氣間隙內形成熱輻射層；所述固定套環的中心和所述熱烘轉盤的盤心共線； 驅動源，其動力輸出端連接所述熱烘轉盤和所述固定套環； 所述驅動源驅動所述固定套環和所述熱烘轉盤同步且反向轉動，所述熱烘轉盤的轉速為5-20RPM，所述熱烘轉盤轉動以均勻所述熱輻射層的熱量； 該半導體晶圓卡盤還包括， 反向共軛齒輪組，其連接所述驅動源的動力輸出端，所述反向共軛齒輪組包括主動齒輪和均與所述主動齒輪嚙合的多個從動齒輪；所述驅動源驅動所述主動齒輪轉動，當所述主動齒輪轉動時，每個所述從動齒輪均繞其自身的齒輪軸自轉； 聯動工件，所述聯動工件中心開設有聯動槽，所述聯動槽的槽壁上環形陣列設置多個齒槽，所述反向共軛齒輪組穿設在所述聯動槽內，其中，每個所述從動齒輪均和所述齒槽嚙合； 所述主動齒輪的齒輪軸和所述熱烘轉盤連接，所述聯動工件和所述固定套環連接； 所述聯動工件的兩端分別連接有伸縮桿，兩個所述伸縮桿以所述聯動槽的中心對稱設置；所述固定套環通過所述伸縮桿連接所述聯動工件； 其中，所述伸縮桿能夠伸縮，所述伸縮桿伸縮時帶動所述固定套環朝向或遠離所述熱烘轉盤方向移動。

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