蘇州賽騰精密電子股份有限公司孫豐獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請的專利晶圓翻轉檢測裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120404763B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510916199.0,技術領域涉及:G01N21/892;該發明授權晶圓翻轉檢測裝置是由孫豐;李振豪設計研發完成,并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓翻轉檢測裝置在說明書摘要公布了:本申請公開一種晶圓翻轉檢測裝置,包括抓取機構、翻轉機構和檢測機構。抓取機構包括兩個機械臂。翻轉機構包括翻轉平臺和翻轉電機。翻轉平臺固定連接于翻轉電機的輸出軸,翻轉電機的輸出軸沿第一方向延伸。檢測機構包括相機、承載組件、第一光源組件、第二光源組件和移動組件;檢測機構在第二方向上位于翻轉機構一側;承載組件包括安裝板和多個承載塊;安裝板設有通孔,多個承載塊在通孔的周向上間隔設置;承載塊位于伸出位置時,承載塊至通孔中心的最小距離小于待測晶圓的半徑;當有承載塊位于縮進位置時,至少有三個承載塊位于伸出位置;移動組件與安裝板相連。該晶圓翻轉檢測裝置能實現無遮擋的檢測,能提高檢測效率且能避免成本過高。
本發明授權晶圓翻轉檢測裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶圓翻轉檢測裝置,其特征在于,包括: 抓取機構,包括兩個機械臂,所述機械臂用于抓取并移動待測晶圓; 在第一方向上位于所述抓取機構一側的翻轉機構,包括翻轉平臺和翻轉電機;所述翻轉平臺固定連接于所述翻轉電機的輸出軸,所述翻轉電機的輸出軸沿所述第一方向延伸; 與所述翻轉機構位于所述抓取機構同一側的檢測機構,包括相機、承載組件、第一光源組件、第二光源組件和移動組件;所述檢測機構在第二方向上位于所述翻轉機構一側,所述第一方向垂直于第二方向;所述相機固定設置;所述承載組件設置于所述相機的下方,包括水平設置的安裝板、可移動地設置于所述安裝板上的多個承載塊;所述安裝板設有通孔,多個所述承載塊在所述通孔的周向上間隔設置;所述承載塊的移動方向平行于所述通孔的徑向;所述承載塊具有伸出位置和縮進位置;所述承載塊位于所述伸出位置時,所述承載塊至所述通孔中心的最小距離小于所述待測晶圓的半徑;所述承載塊位于所述縮進位置時,所述承載塊至所述通孔中心的最小距離大于所述待測晶圓的半徑;多個所述承載塊被配置為:當有承載塊位于縮進位置時,至少有三個承載塊位于伸出位置;所述第一光源組件和第二光源組件分別設置在所述承載組件的上方和下方;所述移動組件與所述安裝板相連,能帶動所述承載組件在第一方向和第二方向移動; 所述承載塊背離所述通孔中心的一面固定連接有連接塊,所述安裝板上固定連接有固定塊和導向件,所述導向件沿所述通孔徑向延伸;所述連接塊滑動連接于所述導向件;所述連接塊和所述固定塊之間設有彈簧;所述連接塊上固定設有限位件,所述限位件沿垂直于所述通孔徑向的方向延伸;所述安裝板上固定連接有豎直延伸的轉軸;所述轉軸轉動連接有連桿,所述連桿的一端與所述限位件靠近所述承載塊的一側相抵接,另一端固定連接于第一驅動件的輸出端。
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