長鑫存儲技術(shù)有限公司肖德元獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉長鑫存儲技術(shù)有限公司申請的專利半導體結(jié)構(gòu)及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115666130B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202110777160.7,技術(shù)領域涉及:H10B12/00;該發(fā)明授權(quán)半導體結(jié)構(gòu)及其制造方法是由肖德元設計研發(fā)完成,并于2021-07-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導體結(jié)構(gòu)及其制造方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明實施例提供一種半導體結(jié)構(gòu)及其制造方法,半導體結(jié)構(gòu)包括:半導體基底,半導體基底包括邏輯器件區(qū)以及存儲器區(qū);位線以及與位線同層設置的電接觸層,位線位于存儲器區(qū)內(nèi),電接觸層位于邏輯器件區(qū)內(nèi);第一半導體通道,位于位線表面,第二半導體通道,第二半導體通道與第一半導體通道同層設置,且位于電接觸層表面;字線以及與字線同層設置的柵極;電容結(jié)構(gòu),與第一半導體通道的第二摻雜區(qū)相接觸;電連接結(jié)構(gòu),與第二半導體通道的第四摻雜區(qū)相接觸;介質(zhì)層,位于位線與字線之間,且還位于字線遠離半導體基底的一側(cè)。本發(fā)明實施例有利于在半導體結(jié)構(gòu)內(nèi)實現(xiàn)存內(nèi)計算,以提高半導體結(jié)構(gòu)的工作效率和降低半導體結(jié)構(gòu)的工作能耗。
本發(fā)明授權(quán)半導體結(jié)構(gòu)及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,包括: 半導體基底,所述半導體基底包括邏輯器件區(qū)以及存儲器區(qū); 位線以及與所述位線同層設置的電接觸層,所述位線位于所述存儲器區(qū)的所述半導體基底上,所述電接觸層位于所述邏輯器件區(qū)的所述半導體基底上; 第一半導體通道,所述第一半導體通道位于所述位線表面,在沿所述半導體基底指向所述位線的方向上,所述第一半導體通道包括依次排列的第一摻雜區(qū)、第一溝道區(qū)以及第二摻雜區(qū),所述第一摻雜區(qū)與所述位線相接觸; 第二半導體通道,所述第二半導體通道與所述第一半導體通道同層設置,且位于所述電接觸層表面,在沿所述半導體基底指向所述電接觸層的方向上,所述第二半導體通道包括依次排列的第三摻雜區(qū)、第二溝道區(qū)以及第四摻雜區(qū),所述第三摻雜區(qū)與所述電接觸層相接觸; 字線以及與所述字線同層設置的柵極,所述字線環(huán)繞所述第一溝道區(qū)設置,所述柵極環(huán)繞所述第二溝道區(qū)設置; 電容結(jié)構(gòu),所述電容結(jié)構(gòu)位于所述第二摻雜區(qū)遠離所述第一溝道區(qū)的一側(cè),且所述電容結(jié)構(gòu)與所述第二摻雜區(qū)相接觸; 電連接結(jié)構(gòu),所述電連接結(jié)構(gòu)位于所述第四摻雜區(qū)遠離所述第二溝道區(qū)的一側(cè),且所述電連接結(jié)構(gòu)與所述第四摻雜區(qū)相接觸; 介質(zhì)層,所述介質(zhì)層位于所述位線與所述字線之間,且還位于所述字線遠離所述半導體基底的一側(cè); 所述半導體基底包括: 半導體襯底; 第一半導體阱層,設置于所述存儲器區(qū)的所述半導體襯底上,且所述位線位于所述第一半導體阱層遠離所述半導體襯底的表面;所述第一半導體阱層在所述半導體襯底上的正投影與所述位線在所述半導體襯底上的正投影重合; 第二半導體阱層,設置于所述邏輯器件區(qū)的所述半導體襯底上,且所述電接觸層位于所述第二半導體阱層遠離所述半導體襯底的表面。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人長鑫存儲技術(shù)有限公司,其通訊地址為:230601 安徽省合肥市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)空港工業(yè)園興業(yè)大道388號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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