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龍圖騰網獲悉博魯可斯自動化美國有限責任公司申請的專利襯底映射裝置及其方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116056810B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180053513.7，技術領域涉及：B08B3/00；該發明授權襯底映射裝置及其方法是由R·蘇努加托夫;R·R·王;K·謝;J·格拉西亞諾;A·懷斯;C·漢森;E·帕斯托設計研發完成，并于2021-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本襯底映射裝置及其方法在說明書摘要公布了：一種半導體晶圓映射裝置包括：框架，其形成與用于襯底載體的裝載站相通的晶圓裝載開口，所述襯底載體設置成保持豎直分布在襯底載體中的多于一個晶圓，以用于通過晶圓裝載開口裝載；可移動臂，其可移動地安裝到框架以便相對于晶圓裝載開口移動，并且具有至少一個末端執行器，所述至少一個末端執行器可移動地安裝到可移動臂，以便通過晶圓裝載開口從襯底載體裝載晶圓；圖像采集系統，其包括布置在公共支承上的相機陣列，并且每個相機相對于公共支承固定，所述公共支承相對于相機陣列的每個相機靜止，其中每個相應相機定位有視場，所述視場設置成在公共支承通過可移動臂定位的情況下通過晶圓裝載開口觀察。

本發明授權襯底映射裝置及其方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體襯底映射裝置，包括： 框架，其形成與用于襯底載體的裝載站相通的襯底裝載開口，所述襯底載體設置成保持豎直分布在所述襯底載體中的多于一個襯底，以用于通過所述襯底裝載開口裝載； 可移動臂，其可移動地安裝到所述框架以便相對于所述襯底裝載開口移動，并且具有至少一個末端執行器，所述至少一個末端執行器可移動地安裝到所述可移動臂，以便通過所述襯底裝載開口從所述襯底載體裝載襯底； 圖像采集系統，其包括布置在公共支承上的相機陣列，并且每個相機相對于所述公共支承固定，所述公共支承相對于所述相機陣列的每個相機靜止，其中每個相應相機定位有視場，所述視場設置成在所述公共支承通過所述可移動臂定位在公共位置處的情況下通過所述襯底裝載開口觀察所述襯底載體的具有用于保持所述多于一個襯底中的至少一個襯底的襯底槽的不同單獨部分，所述不同單獨部分與所述襯底載體的具有不同襯底槽的部分分離且不同，所述不同襯底槽用于保持不同于在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下由每個其它相機觀察的所述至少一個襯底的襯底，并且在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下通過所述相機陣列對保持在所述襯底載體中的每個襯底進行成像；以及 連接到所述公共支承的照明源，其被配置以便在所述公共支承處于所述公共位置中的情況下通過所述襯底裝載開口照射所述襯底載體中的每個襯底的外邊緣，所述外邊緣標示所述襯底的所述外邊緣的上邊緣邊界和下邊緣邊界，所述照明源相對于每個相機設置，使得所述外邊緣將來自所述照明源的反射的邊緣照明指向每個相機，并在所述上邊緣邊界和所述下邊緣邊界處對在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下由每個相機通過所述襯底裝載開口觀察的背景反射光進行光學消隱； 其中利用所述上邊緣邊界和所述下邊緣邊界以圖像對比度顯著地限定所述襯底的所述外邊緣，所述圖像對比度通過由每個相機配準的邊緣反射和光學消隱的背景形成并且是在其之間形成，以在所述公共支承位于所述公共位置處的情況下對所述襯底載體中的每個襯底實行邊緣檢測。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人博魯可斯自動化美國有限責任公司，其通訊地址為：美國馬薩諸塞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。