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龍圖騰網獲悉三星顯示有限公司申請的專利沉積處理設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113755810B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110516229.0，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權沉積處理設備是由李俊永設計研發完成，并于2021-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本沉積處理設備在說明書摘要公布了：提供了沉積處理設備。沉積處理設備包括裝載有襯底固定裝置的第一室、限定執行沉積處理的沉積處理空間的第二室以及包括將襯底固定裝置從第一室傳輸到第二室的傳輸模塊的第三室。襯底固定裝置包括第一支承件和第二支承件，第一支承件支承至少一個襯底，第二支承件連接到第一支承件，在第一方向上與至少一個襯底的第一表面和第二表面接觸，并且豎直地固定至少一個襯底以使得第三表面面對第一支承件的法線方向。第二支承件在至少一個襯底中限定包括第三表面、第一表面的與第三表面相鄰的部分以及第二表面的與第三表面相鄰的部分的沉積表面，并且將限定的沉積表面暴露于沉積處理空間。

本發明授權沉積處理設備在權利要求書中公布了：1.一種沉積處理設備，包括： 第一室，襯底固定裝置裝載到所述第一室中，其中，至少一個襯底裝載在所述襯底固定裝置上并且包括： 第一表面； 與所述第一表面相對的第二表面；以及 作為所述第一表面與所述第二表面之間的側表面的第三表面； 第二室，所述第二室限定沉積處理空間，在所述沉積處理空間中，在裝載在所述襯底固定裝置上的所述至少一個襯底上執行沉積處理；以及 第三室，所述第三室包括將所述襯底固定裝置從所述第一室傳輸到所述第二室的傳輸模塊，所述襯底固定裝置包括： 第一支承件，所述第一支承件支承所述至少一個襯底；以及 第二支承件，所述第二支承件連接到所述第一支承件，在第一方向上與所述至少一個襯底的所述第一表面和所述第二表面接觸，并且豎直地固定所述至少一個襯底以使得所述第三表面面對所述第一支承件的法線方向， 其中，所述第二支承件在所述至少一個襯底中限定沉積表面，并且將限定的所述沉積表面暴露于所述沉積處理空間，并且 所述沉積表面包括所述第三表面、所述第一表面的與所述第三表面相鄰的部分以及所述第二表面的與所述第三表面相鄰的部分； 其中，所述第一支承件包括： 基礎構件； 第一支承構件，所述第一支承構件布置在所述基礎構件上，與所述基礎構件限定所述傳輸模塊插入的空間，并且支承所述至少一個襯底；以及 連接構件，所述連接構件將所述基礎構件、所述第一支承構件和所述第二支承件彼此連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三星顯示有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。