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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京大學(xué)申請(qǐng)的專利一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法及系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114624959B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011453395.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法及系統(tǒng)是由馬文君;壽寅任;王鵬杰;徐詩(shī)睿;趙家瑞;顏學(xué)慶設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-11向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法及系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法，通過(guò)激光打固體靶產(chǎn)生極紫外輻射，對(duì)激光進(jìn)行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，聚焦前的激光源為飛秒激光源；靶材為滿足平均密度介于常規(guī)固體和常規(guī)氣體之間、微米尺寸下分布均勻、邊界陡峭特點(diǎn)的材質(zhì)，本發(fā)明還公開了一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生系統(tǒng)，包括激光源1和靶2，在激光源1與靶2之間還設(shè)置有離軸拋物面鏡聚焦裝置4，在激光源1與離軸拋物面鏡聚焦裝置4之間設(shè)置有等離子體鏡裝置5。根據(jù)本發(fā)明所述的高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法及裝置，具有產(chǎn)生極紫外輻射效率高、譜帶寬、光譜可調(diào)等諸多優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明授權(quán)一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種高效率極紫外輻射產(chǎn)生方法，其特征在于，通過(guò)飛秒級(jí)別激光打固體靶產(chǎn)生極紫外輻射；所述固體靶的靶材為滿足平均密度為1～100mgcm3、邊界陡峭特點(diǎn)的材質(zhì)； 對(duì)激光進(jìn)行聚焦，聚焦后的激光作用在靶材上，在激光聚焦前，主脈沖30皮秒前激光對(duì)比度不小于1010； 所述靶的靶材為納米管泡沫材料，所述納米管泡沫材料，是指原子在空間中無(wú)序排布形成納米級(jí)框架結(jié)構(gòu)的材料，其具有大量的納米級(jí)孔隙結(jié)構(gòu)，所述納米管形成的框架結(jié)構(gòu)上負(fù)載有金屬原子； 聚焦后的激光峰值功率不低于1015Wcm2。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京大學(xué)，其通訊地址為：100871 北京市海淀區(qū)頤和園路5號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。