ASML荷蘭有限公司J·D·特德羅獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASML荷蘭有限公司申請(qǐng)的專利用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲(chǔ)槽獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114830832B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080087548.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05G2/00；該發(fā)明授權(quán)用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲(chǔ)槽是由J·D·特德羅設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-11-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲(chǔ)槽在說明書摘要公布了：一種用于極紫外EUV光源的裝置包括主體。該主體包括：第一結(jié)構(gòu)246，其包括第一壁；以及第二結(jié)構(gòu)248，其包括第二壁，該第二壁永久地接合到該第一壁。該主體的內(nèi)部203至少部分地由該第一壁和該第二壁限定。該第一壁包括第一金屬化材料，并且該第二壁包括第二金屬化材料，該第二金屬化材料具有與該第一金屬化材料不同的熱導(dǎo)率。該主體的該內(nèi)部被配置為流體連接到該EUV光源的目標(biāo)供應(yīng)系統(tǒng)。
本發(fā)明授權(quán)用于極紫外光源的目標(biāo)材料儲(chǔ)槽在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于極紫外EUV光源的裝置，所述裝置包括： 主體，包括： 第一結(jié)構(gòu)，包括第一壁，所述第一壁在Y方向上從第二端延伸到第一端；以及 第二結(jié)構(gòu)，包括第二壁，所述第二壁在所述Y方向上從第二端延伸到第一端，其中所述第二壁的所述第二端永久地接合到所述第一壁的所述第一端，其中所述主體的內(nèi)部至少部分地由所述第一壁和所述第二壁限定，所述第一壁包括第一金屬化材料，并且所述第二壁包括第二金屬化材料，所述第二金屬化材料具有與所述第一金屬化材料不同的熱導(dǎo)率，并且其中 所述主體的所述內(nèi)部被配置為流體連接到所述極紫外EUV光源的目標(biāo)供應(yīng)系統(tǒng)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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