東京毅力科創株式會社岡澤智樹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利液處理裝置和液處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111863658B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010305082.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權液處理裝置和液處理方法是由岡澤智樹;西山雄太;飛松武志設計研發完成，并于2020-04-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本液處理裝置和液處理方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種液處理裝置和液處理方法，對于利用從噴嘴噴出的處理液進行的液處理的面內均勻性有效。液處理裝置具備：處理液供給部，其具有噴出處理液的噴嘴；噴嘴移動部，其使所述噴嘴在用于朝向基板的表面供給所述處理液的涂布位置和與所述涂布位置不同的待機位置之間移動；清洗部，其朝向所述待機位置供給清洗液，以通過所述清洗液對位于所述待機位置的所述噴嘴的頂端面進行清洗；吸引部，其具有朝向位于所述待機位置的所述噴嘴的頂端面開口的吸引口，所述吸引部吸引從位于所述待機位置的所述噴嘴噴出的所述處理液以及通過所述清洗部供給到所述待機位置的所述清洗液；以及控制裝置，其控制所述處理液供給部、所述噴嘴移動部、所述吸引部及所述清洗部。
本發明授權液處理裝置和液處理方法在權利要求書中公布了：1.一種液處理裝置，其特征在于，具備： 處理液供給部，其具有噴出處理液的噴嘴； 噴嘴移動部，其使所述噴嘴在用于朝向基板的表面供給所述處理液的涂布位置和與所述涂布位置不同的待機位置之間移動； 清洗部，其朝向所述待機位置供給清洗液，以通過所述清洗液對位于所述待機位置的所述噴嘴的頂端面進行清洗； 吸引部，其具有朝向位于所述待機位置的所述噴嘴的頂端面開口的吸引口，所述吸引部吸引從位于所述待機位置的所述噴嘴噴出的所述處理液以及通過所述清洗部供給到所述待機位置的所述清洗液；以及 控制裝置，其控制所述處理液供給部、所述噴嘴移動部、所述吸引部及所述清洗部， 其中，所述清洗部具有：清洗槽，其設置于所述待機位置， 所述吸引部還具有吸引頭，該吸引頭相對于所述清洗槽的底壁突出， 所述吸引口在所述吸引頭的上表面開口。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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