卓爾半導體設備(蘇州)有限公司何飛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉卓爾半導體設備(蘇州)有限公司申請的專利一種自動化塑封系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116230603B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310281053.4,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權一種自動化塑封系統是由何飛;柯可;華劍;高娜娜設計研發完成,并于2023-03-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種自動化塑封系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種自動化塑封系統,屬于半導體生產設備領域。該自動化塑封系統,包括:塑封壓機,設置在塑封壓機一側的移載裝置,設置在移載裝置一端的上料裝置,以及設置在移載裝置另一端的下料裝置,移載裝置包括設置在塑封壓機一側的第一移載機構,設置在第一移載機構一端的第二移載機構,設置在第二移載機構一端的第三移載機構以及供料支架。本發明通過設置在塑封壓機一側的第一移載機構在整個供料支架的周轉過程中僅占用了塑封壓機的一個側窗口,極大的降低了生產線的整體占用空間,解決了現有技術的生產線的占用空間較大,導致廠房的利用率低,進而增加了生產成本的問題,還提高了使得塑封壓機的可操作空間,降低了塑封壓機的維護工作難度。
本發明授權一種自動化塑封系統在權利要求書中公布了:1.一種自動化塑封系統,其特征在于,包括:塑封壓機,設置在塑封壓機一側的移載裝置,設置在移載裝置一端的上料裝置,以及設置在移載裝置另一端的下料裝置; 所述上料裝置包括設置在移載裝置一端的料片排布輸送機構和膠粒排布輸送機構; 所述移載裝置包括設置在塑封壓機一側的第一移載機構,設置在第一移載機構一端的第二移載機構,設置在第二移載機構一端的第三移載機構,以及供料支架; 所述第二移載機構設有下料端,所述下料裝置設置在第二移載裝置的下料端; 所述第三移載機構設有上料端,所述料片排布輸送機構和膠粒排布輸送機構設置在第三移載裝置的上料端; 所述第三移載機構用于將料片排布輸送機構上的料片以及膠粒排布輸送機構上的膠粒輸送到第二移載機構的供料支架上; 所述第一移載機構用于實現供料支架在塑封壓機的內外周轉; 所述第二移載機構用于將第一移載機構上的供料支架移動到下料裝置內; 所述第二移載機構包括:第二Z軸移載組件,與第二Z軸移載組件連接的第二Y軸移載組件,以及與第二Y軸移載組件連接的第二旋轉組件,所述供料支架放置于第二旋轉組件上; 所述供料支架上設置有若干個繞第二旋轉組件中心軸分布設置的放料區域,所述第三移載機構料片和膠粒輸送到供料支架的放料區域; 所述第二旋轉組件用于帶動供料支架繞中心旋轉; 所述第三移載機構包括:第三X軸移載組件,與第三X軸移載組件連接的第三旋轉組件,與第三旋轉組件連接的兩個料片夾持組件,以及與第三旋轉組件連接的膠粒夾持組件; 兩個所述料片夾持組件對稱設置,所述料片夾持組件用于夾持料片; 所述膠粒夾持組件位于兩個料片夾持組件之間,所述膠粒夾持組件用于夾持膠粒; 所述第三X軸移載組件用于將料片和膠粒從料片排布輸送機構和膠粒排布輸送機構移動到第二移載機構上; 所述第三旋轉組件用于調整料片夾持組件和膠粒夾持組件的角度。
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