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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料以色列公司申請的專利灰度比檢查獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116645317B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202310152831.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)灰度比檢查是由E·S·托夫;U·阿布拉哈莫夫設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-02-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本灰度比檢查在說明書摘要公布了：一種用于灰度比檢查的方法，包括：獲取電子圖像，該電子圖像包括樣本的感興趣區(qū)域ROI的ROI像素和樣本的參考區(qū)域的參考像素，其中ROI像素是通過用電子束照亮ROI獲取的，并且參考像素是在沒有用電子束照亮參考區(qū)域的情況下獲取的；基于參考像素中的至少一些參考像素的值來計算參考暗水平值；響應(yīng)于參考暗水平值，計算與ROI像素的第一子集相關(guān)的第一灰度值和與ROI像素的第二子集相關(guān)的第二灰度值之間的灰度比；確定灰度比是否指示缺陷；以及在確定灰度比指示缺陷之后生成缺陷信息。

本發(fā)明授權(quán)灰度比檢查在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于灰度比檢查的方法，所述方法包括： a獲取一電子圖像，所述電子圖像包括樣本的感興趣區(qū)域ROI的ROI像素和所述樣本的參考區(qū)域的參考像素，其中所述ROI像素是通過用電子束照亮所述ROI獲取的，并且所述參考像素是在沒有用電子束照亮所述參考區(qū)域的情況下獲取的； b基于所述參考像素中的至少一些參考像素的值來計算參考暗水平值； c計算與所述ROI像素的第一子集相關(guān)的第一灰度值和與所述ROI像素的第二子集相關(guān)的第二灰度值之間的灰度比，其中計算所述灰度比包括：i通過對所述ROI像素的所述第一子集中的至少一些的灰度進(jìn)行平均來計算所述第一灰度值，ii通過對所述ROI像素的所述第二子集中的至少一些的灰度進(jìn)行平均來計算所述第二灰度值，iii從所述第一灰度值減去所述參考暗水平值以提供第一暗水平補償值，iv從所述第二灰度值減去所述參考暗水平值以提供第二暗水平補償值，以及v將所述第一暗水平補償值除以所述第二暗水平補償值； d確定所述灰度比是否指示缺陷；以及 e在確定所述灰度比指示所述缺陷之后生成缺陷信息， 其中所述ROI像素的所述第一子集是從所述ROI的第一子區(qū)域獲得的，所述ROI像素的所述第二子集是從所述ROI的第二子區(qū)域獲得的,所述第一子區(qū)域和所述第二子區(qū)域是與定位在所述ROI內(nèi)的結(jié)構(gòu)元件相關(guān)的區(qū)域。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料以色列公司，其通訊地址為：以色列瑞哈佛特市；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。