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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京萊伯泰科儀器股份有限公司申請(qǐng)的專利一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115497803B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211213411.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)是由唐興斌;袁文東;劉金晶;黃立尊;尤亮;李富超;肖喜平;王娟;閆辛未設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)，其包括：第一氣瓶、第一穩(wěn)壓閥、第一質(zhì)量流量控制器、第二質(zhì)量流量控制器、第三質(zhì)量流量控制器、第一數(shù)字壓力表、第二數(shù)字壓力表、控制器和霧化器，其中：所述第一氣瓶?jī)?nèi)部存放有高壓高純氬氣，所述第一穩(wěn)壓閥與所述第一氣瓶的出氣口連接，所述第一穩(wěn)壓閥對(duì)所述第一氣瓶輸出的高壓高純氬氣進(jìn)行降壓和穩(wěn)壓；所述第一穩(wěn)壓閥的輸出端與所述第一質(zhì)量流量控制器、所述第二質(zhì)量流量控制器、所述第三質(zhì)量流量控制器和所述第一數(shù)字壓力表連接；所述控制器與所述第一質(zhì)量流量控制器、所述第二質(zhì)量流量控制器、所述第三質(zhì)量流量控制器、所述第一數(shù)字壓力表以及所述第二數(shù)字壓力表連接。

本發(fā)明授權(quán)一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有預(yù)警功能的電感耦合等離子體源的供氣系統(tǒng)，其特征在于，包括：第一氣瓶、第一穩(wěn)壓閥、第一質(zhì)量流量控制器、第二質(zhì)量流量控制器第三質(zhì)量流量控制器、第一數(shù)字壓力表、第二數(shù)字壓力表、控制器、霧化器多個(gè)第二氣瓶、多個(gè)第二穩(wěn)壓閥和第四質(zhì)量流量控制器，其中： 所述第一氣瓶?jī)?nèi)部存放有高壓高純氬氣， 所述第一穩(wěn)壓閥與所述第一氣瓶的出氣口連接，所述第一穩(wěn)壓閥對(duì)所述第一氣瓶輸出的高壓高純氬氣進(jìn)行降壓和穩(wěn)壓； 所述第一穩(wěn)壓閥的輸出端與所述第一質(zhì)量流量控制器、所述第二質(zhì)量流量控制器、所述第三質(zhì)量流量控制器和所述第一數(shù)字壓力表連接； 所述控制器與所述第一質(zhì)量流量控制器、所述第二質(zhì)量流量控制器、所述第三質(zhì)量流量控制器、所述第一數(shù)字壓力表以及所述第二數(shù)字壓力表連接， 所述第一數(shù)字壓力表將所述第一穩(wěn)壓閥輸出的氬氣壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并發(fā)送至所述控制器； 所述控制器控制所述第一質(zhì)量流量控制器輸出的氬氣流量處于一第一范圍，以用作ICP源系統(tǒng)的等離子體氣， 所述控制器控制所述第二質(zhì)量流量控制器輸出的氬氣流量處于一第二范圍，以用作ICP源系統(tǒng)的輔助氣， 所述控制器控制所述第三質(zhì)量流量控制器輸出的氬氣流量處于一第三范圍，以用作ICP源系統(tǒng)的載氣，載氣輸出端與所述霧化器和所述第二數(shù)字壓力表連接， 所述第二數(shù)字壓力表將載氣的壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并發(fā)送至所述控制器， 多個(gè)所述第二穩(wěn)壓閥分別與多個(gè)所述第二氣瓶的出氣口連接，多個(gè)所述第二穩(wěn)壓閥的輸出端連通至所述第一穩(wěn)壓閥的輸出端，多個(gè)所述第二穩(wěn)壓閥分別對(duì)多個(gè)所述第二氣瓶輸出的高壓高純氬氣進(jìn)行降壓和穩(wěn)壓， 所述第四質(zhì)量流量控制器與所述第一穩(wěn)壓閥的輸出端以及所述控制器連接，所述控制器控制所述第四質(zhì)量流量控制器輸出的氬氣流量處于一第四范圍，以用作ICP源系統(tǒng)的備用氣， 所述控制器設(shè)置有第一供氣預(yù)警壓力閾值P_Hi和第二供氣預(yù)警壓力閾值P_Lo，調(diào)節(jié)所述第一穩(wěn)壓閥使得所述第一穩(wěn)壓閥初始輸出的氬氣壓力大于所述第一供氣預(yù)警壓力閾值P_Hi，所述控制器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所述第一數(shù)字壓力表檢測(cè)到的所述第一穩(wěn)壓閥輸出的氬氣壓力數(shù)值P1， 當(dāng)P1介于P_Lo與P_Hi之間時(shí)，所述控制器輸出供氣不足預(yù)警信息， 當(dāng)P1小于P_Lo時(shí)，所述控制器輸出供氣不足警報(bào)信息并輸出緊急關(guān)機(jī)指令， 當(dāng)P1的下降速度大于k×V0L1+L2+L3+L460時(shí)，所述控制器輸出供氣不足警報(bào)信息，其中，V0為供氣系統(tǒng)的總體容積，L1、L2、L3、L4分別為所述第一質(zhì)量流量控制器、所述第二質(zhì)量流量控制器、所述第三質(zhì)量流量控制器、所述第四質(zhì)量流量控制器當(dāng)前輸出的氬氣的流量，k為調(diào)節(jié)系數(shù)并且0k1； 所述控制器設(shè)置有載氣壓力堵塞閾值，所述控制器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所述第二數(shù)字壓力表檢測(cè)到的載氣的壓力數(shù)值P2，當(dāng)P2大于所述載氣壓力堵塞閾值時(shí)，所述控制器輸出霧化器的堵塞警報(bào)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京萊伯泰科儀器股份有限公司，其通訊地址為：101312 北京市順義區(qū)空港工業(yè)區(qū)B區(qū)安慶大街6號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。