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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司申請的專利一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器及機械手獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115464673B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210910800.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B25J15/00；該發(fā)明授權(quán)一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器及機械手是由王曉尉設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-07-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器及機械手在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器及機械手，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，光電傳感器包括感光元件和電路控制模塊，電路控制模塊與感光元件電連接，電路控制模塊用于接收感應(yīng)信號并將感應(yīng)信號與閾值進行比對，以確定所述晶圓的狀態(tài)；還用于調(diào)節(jié)所述感光元件的輸入光的亮度，并根據(jù)所述感光元件感應(yīng)的所述晶圓的規(guī)格對所述閾值進行調(diào)節(jié)。通過電路控制模塊將感應(yīng)信號與閾值進行比對，進而可以確定晶圓的狀態(tài)；通過對感光元件的輸入光的亮度進行調(diào)節(jié)，并根據(jù)感光元件感應(yīng)的晶圓的規(guī)格對閾值進行調(diào)節(jié)，以使得感光元件可以檢測不同規(guī)格晶圓的狀態(tài)，確保感光元件對于不同規(guī)格的晶圓都具有較高的準(zhǔn)確度，增大了感光元件的使用范圍。

本發(fā)明授權(quán)一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器及機械手在權(quán)利要求書中公布了：1.一種機械手末端執(zhí)行器晶圓檢測的光電傳感器，其特征在于，包括： 感光元件，用于感應(yīng)晶圓的反光量并輸出感應(yīng)信號； 電路控制模塊，與所述感光元件電連接，所述電路控制模塊用于接收所述感應(yīng)信號并將所述感應(yīng)信號與閾值進行比對，以確定所述晶圓的規(guī)格；還用于調(diào)節(jié)所述感光元件的輸入光的亮度，并根據(jù)所述晶圓的規(guī)格對所述閾值進行調(diào)節(jié)，以消除上手臂末端執(zhí)行器背面材料反光產(chǎn)生的影響； 信號放大輸出模塊，分別與所述電路控制模塊和控制終端電連接，所述信號放大輸出模塊用于對所述電路控制模塊輸出的信號進行放大處理后輸出給所述控制終端；還用于在所述電路控制模塊與所述控制終端之間起到電氣隔離的作用； 所述電路控制模塊包括控制器、信號轉(zhuǎn)化單元、濾波單元、比較器和第一電阻，所述控制器的第一連接端與所述信號轉(zhuǎn)化單元的第一連接端連接，所述信號轉(zhuǎn)化單元的第二連接端與所述比較器的第一連接端共接所述控制器的第二連接端，所述比較器的第二連接端、所述濾波單元的第一連接端、所述控制器的第三連接端以及所述第一電阻的第一連接端共接所述感光元件的第一連接端，所述比較器的第三連接端、所述濾波單元的第二連接端、所述感光元件的第二連接端以及所述感光元件的第三連接端共接供電單元，所述感光元件的第四連接端分別與所述控制器的第四連接端以及第五連接端連接，所述第一電阻的第二連接端、所述比較器的第四連接端以及所述控制器的第六連接端均與所述供電單元連接，所述比較器的第五連接端與所述信號放大輸出模塊連接，所述控制器的第七連接端與通訊模塊連接； 所述信號放大輸出模塊包括放大器和第三電阻，所述第三電阻的第一連接端與所述比較器的第五連接端連接，所述第三電阻的第二連接端與所述放大器的第一端連接，所述放大器的第二端與所述控制終端連接。

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