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龍圖騰網(wǎng)獲悉杰宜斯科技有限公司申請(qǐng)的專利基板處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114121757B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110969515.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置是由孔云;宋智勛;文雄助;樸芝鎬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-08-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種基板處理裝置，其特征在于，可以包括：真空卡盤部，供晶片放置；環(huán)蓋部，沿著所述真空卡盤部的外圍部配置，以加壓所述晶片從而密封所述真空卡盤部的外圍部側(cè)；以及密封環(huán)部，與所述晶片的貼合片緊貼，并通過所述環(huán)蓋部而被加壓。根據(jù)本發(fā)明，隨著卡緊基座的旋轉(zhuǎn)，多個(gè)第一卡緊連桿部和多個(gè)晶片限制部同時(shí)移動(dòng)，因此可以利用一個(gè)卡緊旋轉(zhuǎn)部將晶片限制在真空卡盤部，從而，能夠減少設(shè)置于卡緊模塊的卡緊旋轉(zhuǎn)部的個(gè)數(shù)。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括： 真空卡盤部，供晶片放置； 環(huán)蓋部，沿著所述真空卡盤部的外圍部配置，以加壓所述晶片從而密封所述真空卡盤部的外圍部側(cè)；以及 密封環(huán)部，與所述晶片的貼合片緊貼，并通過所述環(huán)蓋部而被加壓， 其中，所述密封環(huán)部的內(nèi)部形成有變形空間部，以便在所述環(huán)蓋部加壓時(shí)供密封環(huán)部變形，并且 其中，在所述真空卡盤部上形成有掛接部，并且所述掛接部限制所述密封環(huán)部的下側(cè)，以防止所述密封環(huán)部與所述真空卡盤部分離。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國(guó)京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。