株式會社堀場STEC寺阪正訓獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉株式會社堀場STEC申請的專利液體材料氣化裝置及其控制方法和程序存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112864049B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011361749.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權液體材料氣化裝置及其控制方法和程序存儲介質是由寺阪正訓;本間瞭一;費爾南德斯·亞歷山大設計研發完成，并于2020-11-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本液體材料氣化裝置及其控制方法和程序存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供液體材料氣化裝置及其控制方法和程序存儲介質。液體材料氣化裝置包括：控制閥1，設置于材料流體所流通的流道，所述材料流體為液體材料或液體材料氣化得到的材料氣體；壓力傳感器3，設置在比所述控制閥1更靠下游側；流量傳感器2，測定材料流體的流量；以及閥控制器4，對所述控制閥進行控制，以使設定壓力與所述壓力傳感器測定的測定壓力的偏差變小，并且使所述流量傳感器測定的測定流量成為限制流量以下，所述限制流量為根據液體材料可氣化的上限流量而設定的流量。
本發明授權液體材料氣化裝置及其控制方法和程序存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種液體材料氣化裝置，其特征在于，包括： 控制閥，設置于材料流體所流通的流道，所述材料流體為液體材料或液體材料氣化得到的材料氣體； 壓力傳感器，設置在比所述控制閥更靠下游側； 流量傳感器，測定材料流體的流量；以及 閥控制器，對所述控制閥進行控制，以使設定壓力與所述壓力傳感器測定的測定壓力的偏差變小，并且使所述流量傳感器測定的測定流量成為限制流量以下，所述限制流量為根據液體材料可氣化的上限流量而設定的流量， 所述閥控制器包括： 第一操作量算出部，根據測定流量與限制流量的偏差，算出作為所述控制閥的操作量的第一操作量； 第二操作量算出部，根據測定壓力與設定壓力的偏差，算出作為所述控制閥的操作量的第二操作量；以及 操作量決定部，比較第一操作量和第二操作量，并將任意一方的操作量輸入所述控制閥， 或者所述閥控制器包括： 流量控制部，根據測定流量與設定流量的偏差，對所述控制閥進行控制；以及 流量設定部，以使測定壓力與設定壓力的偏差變小的方式，在所述流量控制部設定限制流量以下的設定流量。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社堀場STEC，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號