蘇州億波達微系統技術有限公司張裕華獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州億波達微系統技術有限公司申請的專利雙軸MEMS陀螺儀獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120252670B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510741237.3,技術領域涉及:G01C19/5677;該發明授權雙軸MEMS陀螺儀是由張裕華;朱澤華;徐良設計研發完成,并于2025-06-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本雙軸MEMS陀螺儀在說明書摘要公布了:本發明涉及一種雙軸MEMS陀螺儀,包括襯底機構、錨點機構、運動機構及電極機構,錨點機構固設于襯底機構上,運動機構包括驅動框、質量塊單元、換向單元、傳遞單元以及耦合單元,四個驅動框圍繞陀螺中心均布設置,其中兩個驅動框設于45度方向上,另兩個驅動框設于135度方向上,四個質量塊單元圍繞陀螺中心均布設置,其中兩個質量塊單元設于0度方向上,另兩個質量塊單元設于90度方向上,質量塊單元包括沿其所在方向的垂直方向依次設置的兩個質量模塊,質量模塊包括科氏力質量塊,換向單元包括兩個杠桿部件,傳遞單元包括兩根外傳遞梁。本發明能夠提高陀螺儀的魯棒性、抗角振動及抗過載性能和降低陀螺儀的軸間串擾。
本發明授權雙軸MEMS陀螺儀在權利要求書中公布了:1.一種雙軸MEMS陀螺儀,其特征在于,包括襯底機構、固設于襯底機構上的錨點機構、可運動連接錨點機構的運動機構及驅動和檢測運動機構的電極機構,運動機構包括: 四個驅動框,圍繞陀螺中心均布設置,其中兩個驅動框對稱設于45度方向上,另兩個驅動框對稱設于135度方向上,驅動框通過第一彈簧梁連接錨點機構,驅動框具有沿其所在方向面內往復平移的自由度; 四個質量單元,圍繞陀螺中心均布設置,其中兩個質量單元對稱設于0度方向上,另兩個質量單元對稱設于90度方向上,質量單元包括沿其所在方向的垂直方向依次設置的兩個質量模塊,質量模塊包括質量塊,質量塊各自通過第二彈簧梁連接錨點機構,質量塊具有繞z軸方向面內往復擺動、繞x軸方向面外往復擺動及繞y軸方向面外往復擺動的自由度,同一質量單元的兩個質量模塊通過設于二者之間的第一耦合彈簧連接; 四個換向單元,分別與四個驅動框對應設置,換向單元包括兩個杠桿,兩個杠桿分別設于對應的驅動框的運動軌跡的兩側,杠桿通過第三彈簧梁連接錨點機構,杠桿具有繞z軸方向面內往復擺動的自由度,杠桿的一端解耦連接與其對應的驅動框,杠桿包括互成夾角連接的第一力臂段和第二力臂段,第一力臂段位于對應的驅動框背離質量單元的一側,第二力臂段位于對應的驅動框朝向質量單元的一側,第一力臂段與第二力臂段的相交處連接第三彈簧梁,第一力臂段遠離第三彈簧梁的端部通過第一解耦彈簧連接驅動框背離陀螺中心的端部,第二力臂段遠離第三彈簧梁的端部通過第二解耦彈簧連接與其相鄰的外傳遞梁,外傳遞梁通過第三解耦彈簧連接與其對應的質量塊; 四個傳遞單元,分別與四個質量單元對應設置,傳遞單元包括兩根外傳遞梁,兩根外傳遞梁分別設于對應的質量單元的兩個質量模塊背離陀螺中心的一側,同一傳遞單元的兩個外傳遞梁通過設于二者之間的第二耦合彈簧連接,第二耦合彈簧通過第四彈簧梁連接錨點機構,外傳遞梁具有沿其所在方向的垂直方向面內往復平移的自由度,外傳遞梁解耦連接其陀螺儀中心側的質量塊和與其相鄰的杠桿; 耦合單元,包括耦合框和耦合環,耦合框設于四個質量單元之間,耦合環嵌套在耦合框內,耦合框通過第五彈簧梁連接耦合環,耦合環通過第六彈簧梁連接錨點機構,耦合框具有繞x軸方向旋轉的自由度,耦合環具有繞y軸方向旋轉的自由度,耦合框解耦連接四個質量單元。
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