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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120234595B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510730068.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F18/213；該發(fā)明授權(quán)峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備是由汪岳鵬;蔣繼樂(lè)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備。應(yīng)用于高精度測(cè)量領(lǐng)域。該方法包括：獲取晶圓的一幀光譜信號(hào)；根據(jù)預(yù)設(shè)強(qiáng)度閾值對(duì)當(dāng)前幀光譜信號(hào)進(jìn)行峰提取；當(dāng)提取到一個(gè)峰時(shí)，確定峰的峰值為主峰峰值；獲取厚度猜測(cè)值；利用厚度方程根據(jù)所述厚度猜測(cè)值和主峰峰值反向求解得到次峰峰值；將所述主峰峰值和所述次峰峰值作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)當(dāng)前幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到當(dāng)前幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值。本發(fā)明成功解決了初始猜測(cè)缺失以及兩峰接近導(dǎo)致次峰位置難以準(zhǔn)確識(shí)別的問(wèn)題，能夠準(zhǔn)確擬合出一幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值。

本發(fā)明授權(quán)峰值提取方法、厚度測(cè)量方法及設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種峰值提取方法，其特征在于，包括： 獲取晶圓的一幀光譜信號(hào)； 根據(jù)預(yù)設(shè)強(qiáng)度閾值對(duì)當(dāng)前幀光譜信號(hào)進(jìn)行峰提取； 當(dāng)提取到一個(gè)峰時(shí)，確定峰的峰值為主峰峰值； 獲取厚度猜測(cè)值； 利用厚度方程根據(jù)所述厚度猜測(cè)值和主峰峰值反向求解得到次峰峰值； 將所述主峰峰值和所述次峰峰值作為雙峰pseudoVoigt擬合方程的初始猜測(cè)值，對(duì)當(dāng)前幀光譜信號(hào)進(jìn)行擬合，得到當(dāng)前幀光譜信號(hào)的主峰峰值和次峰峰值。

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