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龍圖騰網獲悉素珀電子科技(上海)有限公司申請的專利一種晶圓裝載系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120149216B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510629080.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種晶圓裝載系統是由常志勇;張貴東;侯雙明;孟君燕設計研發完成，并于2025-05-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓裝載系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓裝載系統，包括：裝載主體，具有用于放置晶圓盒的承載面，所述晶圓盒內設有沿高度方向疊置的多個晶圓片；檢測機構，形成有沿水平方向延伸的檢測光路，所述檢測光路掃描晶圓片的邊緣輪廓以檢測突出狀態；升降驅動機構，與所述檢測機構連接，用于驅動所述檢測機構沿晶圓盒高度方向往復運動；糾偏執行機構，包括驅動單元和樞轉糾偏部，所述樞轉糾偏部設有樞轉軸心及可繞所述樞轉軸心轉動的滾動接觸面。采用上述方案，能夠適配不同尺寸晶圓片的糾偏，并提高的晶圓糾偏的效率和潔凈度。

本發明授權一種晶圓裝載系統在權利要求書中公布了：1.一種晶圓裝載系統，其特征在于，包括： 裝載主體（1），具有用于放置晶圓盒（11）的承載面，所述晶圓盒（11）內設有沿高度方向疊置的多個晶圓片（12）； 檢測機構（2），形成有沿水平方向延伸的檢測光路（26），所述檢測光路（26）掃描晶圓片（12）的邊緣輪廓以檢測突出狀態； 升降驅動機構（3），與所述檢測機構（2）連接，用于驅動所述檢測機構（2）沿晶圓盒（11）高度方向往復運動； 糾偏執行機構（4），包括驅動單元（41）和樞轉糾偏部（42），所述樞轉糾偏部（42）設有樞轉軸心（421）及可繞所述樞轉軸心（421）轉動的滾動接觸面； 所述驅動單元（41）具有輸出軸，所述樞轉糾偏部（42）包括擺桿（422）和擺輪，所述擺桿（422）一端與所述輸出軸固定連接，另一端與所述擺輪連接，所述擺輪的圓周面構成所述滾動接觸面； 其中，當檢測光路（26）被突出的晶圓遮擋時，所述升降驅動機構（3）停止運動，所述驅動單元（41）驅動所述樞轉糾偏部（42）繞所述樞轉軸心（421）轉動并向晶圓片（12）的方向移動，所述滾動接觸面通過動摩擦接觸突出的晶圓片（12）以驅動復位；所述檢測光路（26）的水平高度相對于所述樞轉糾偏部（42）的樞轉軸心（421）具有預設的向下偏移量（27），所述向下偏移量（27）用于補償升降慣性位移及信號延遲誤差。

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