清華大學(xué)馬全勝獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉清華大學(xué)申請(qǐng)的專利超滑類金剛石碳基涂層、復(fù)合涂層及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115976469B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211726435.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C14/06;該發(fā)明授權(quán)超滑類金剛石碳基涂層、復(fù)合涂層及其制備方法是由馬全勝;馬天寶;付永強(qiáng);崔文巖;王紫丹設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-12-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本超滑類金剛石碳基涂層、復(fù)合涂層及其制備方法在說(shuō)明書摘要公布了:本申請(qǐng)涉及一種超滑類金剛石碳基涂層、復(fù)合涂層及其制備方法,所述類金剛石碳基涂層包括碳、氫和摻雜元素,所述摻雜元素包括弱碳化物形成金屬元素、強(qiáng)碳化物形成金屬元素和非金屬元素;其中,所述類金剛石碳基涂層中,以碳和摻雜元素的原子總量計(jì),碳的原子百分比含量為70%~90%,以摻雜元素的原子總量計(jì),弱碳化物形成金屬元素的原子百分比含量為50%~70%,以除弱碳化物形成金屬元素外其余摻雜元素的原子總量計(jì),強(qiáng)碳化物形成金屬元素的原子百分比含量為50%~80%。涂層的制備方法包括:采用含有所述摻雜元素的靶材進(jìn)行脈沖磁控濺射沉積。該涂層兼具低的摩擦系數(shù)和高的硬度,能在低溫寬溫域范圍、潮濕大氣下實(shí)現(xiàn)超滑。
本發(fā)明授權(quán)超滑類金剛石碳基涂層、復(fù)合涂層及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種復(fù)合涂層,其特征在于,包括: 基體結(jié)合層,布置在基體上; 硬質(zhì)強(qiáng)化層,布置在所述基體結(jié)合層上; 梯度層,布置在所述硬質(zhì)強(qiáng)化層上;以及 摩擦作用層,布置在所述梯度層上; 其中,所述硬質(zhì)強(qiáng)化層材料為氮化物,所述梯度層材料為碳含量、氮含量呈梯度變化的碳氮化物,所述摩擦作用層為類金剛石碳基涂層; 所述類金剛石碳基涂層的組成元素包括碳、氫和摻雜元素,所述摻雜元素包括弱碳化物形成金屬元素、強(qiáng)碳化物形成金屬元素和非金屬元素; 在所述類金剛石碳基涂層中,以碳和摻雜元素的原子總量計(jì),碳的原子百分比含量為70%~90%,以摻雜元素的原子總量計(jì),弱碳化物形成金屬元素的原子百分比含量為大于50%且70%以下,以除弱碳化物形成金屬元素外其余摻雜元素的原子總量計(jì),強(qiáng)碳化物形成金屬元素的原子百分比含量為50%~80%; 所述強(qiáng)碳化物形成金屬元素選自Cr、Ti或W中的至少一種; 所述非金屬元素選自Si; 所述弱碳化物形成金屬元素選自以下情況中的任意一種:aAl;bAl和Ag的組合;cAl和Au的組合;dAl和Cu的組合;其中,b、c、d中Al元素的原子百分比含量為70%~90%; 所述類金剛石碳基涂層由互穿網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成,所述互穿網(wǎng)絡(luò)包括呈sp3形式連接的碳并被氫原子穩(wěn)定的類金剛石的碳網(wǎng)絡(luò)和呈sp2形式連接的碳; 所述類金剛石碳基涂層的制備方法包括:采用含有所述摻雜元素的靶材進(jìn)行脈沖磁控濺射沉積,濺射沉積參數(shù)為:脈沖電壓500V~900V,脈沖長(zhǎng)度50μs~200μs,脈沖頻率50Hz~200Hz; 所述基體結(jié)合層的材料為Cr、Ti、A1CrSi或A1TiSi中的任意一種; 所述硬質(zhì)強(qiáng)化層的材料為Cr、Ti、A1CrSi或A1TiSi中的任意一種的氮化物; 自靠近所述硬質(zhì)強(qiáng)化層端至靠近所述摩擦作用層端,所述梯度層材料的氮含量梯度降至零,碳含量梯度增至與所述摩擦作用層中的碳含量相同, 所述摩擦作用層厚度為500nm~2000nm, 所述復(fù)合涂層在20℃,相對(duì)濕度0.5%條件下,摩擦系數(shù)不大于0.01;在20℃,相對(duì)濕度52%條件下,摩擦系數(shù)不大于0.01;在-80℃氮?dú)鈼l件下,摩擦系數(shù)不大于0.01, 所述復(fù)合涂層的納米硬度不小于9GPa且不大于10.5GPa。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人清華大學(xué),其通訊地址為:100084 北京市海淀區(qū)清華園;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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