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龍圖騰網(wǎng)獲悉南通大學(xué);南通天承光電科技有限公司申請的專利一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116397287B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202211669023.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D1/00；該發(fā)明授權(quán)一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法是由徐海黎;楊雅雯;陳妍;童義竣;沈標(biāo);邢強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-12-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法，包括：獲取沉積平面的基點(diǎn)坐標(biāo)；獲取待沉積模型的二維沉積路徑并離散；獲取沉積平面的平面方程，將二維沉積路徑代入平面方程得到三維沉積路徑；將探針移動(dòng)至第一個(gè)沉積點(diǎn)進(jìn)行沉積；驅(qū)動(dòng)Z軸壓電陶瓷將探針移動(dòng)至下一個(gè)沉積點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)向上跳躍間距d1處；驅(qū)動(dòng)X、Y軸壓電陶瓷將探針移動(dòng)至下一個(gè)沉積點(diǎn)的上方；驅(qū)動(dòng)Z軸壓電陶瓷，將探針向下移動(dòng)至該沉積點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)向上跳躍間距d2處進(jìn)行沉積；依次對(duì)其余的沉積點(diǎn)進(jìn)行微跳躍沉積，直至沉積結(jié)束。本發(fā)明通過改變Z軸坐標(biāo)的向上跳躍間距，在保持微液橋連接不斷裂的狀態(tài)下進(jìn)行沉積，具有沉積結(jié)構(gòu)均勻、速度快、精度高等優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明授權(quán)一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于玻璃微探針的平面微納沉積控制方法，其特征在于，包括以下步驟： S1：獲取沉積平面的基點(diǎn)坐標(biāo)X0,Y0,Z0； S2：獲取待沉積模型的二維沉積路徑，并將所述二維沉積路徑離散成N個(gè)沉積點(diǎn)，每個(gè)所述沉積點(diǎn)的坐標(biāo)記為Xi,Yi,Zi；其中，1≤i≤N，N為正整數(shù)； S3：獲取所述沉積平面的平面方程，并將所述二維沉積路徑代入所述平面方程，得到基于所述沉積平面的三維沉積路徑； S4：驅(qū)動(dòng)X軸壓電陶瓷和Y軸壓電陶瓷，將探針移動(dòng)至第一個(gè)沉積點(diǎn)上方的坐標(biāo)X1,Y1,Z0+Q處；其中，Q為大于0的常數(shù)，且常數(shù)Q的值不小于導(dǎo)電基底的傾斜高度差，所述探針位于所述導(dǎo)電基底的上方； S5：驅(qū)動(dòng)Z軸壓電陶瓷，將所述探針向下移動(dòng)，直至所述探針的底部接觸所述導(dǎo)電基底，停頓時(shí)間t_dep進(jìn)行沉積； S6：保持X軸和Y軸坐標(biāo)不變，驅(qū)動(dòng)所述Z軸壓電陶瓷，將所述探針移動(dòng)至下一個(gè)沉積點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)向上跳躍間距d1處，且d1＜R，R為所述探針的尖端開口半徑； S7：保持Z軸坐標(biāo)不變，驅(qū)動(dòng)所述X軸壓電陶瓷和所述Y軸壓電陶瓷，將所述探針移動(dòng)至下一個(gè)沉積點(diǎn)的上方； S8：保持X軸和Y軸坐標(biāo)不變，驅(qū)動(dòng)所述Z軸壓電陶瓷，將所述探針向下移動(dòng)至該沉積點(diǎn)的Z軸坐標(biāo)向上跳躍間距d2處，停頓時(shí)間t_dep進(jìn)行沉積；其中，Vm·t_dep＜d2＜d1，Vm為所述探針的沉積移動(dòng)速率，t_dep為沉積停頓時(shí)間； S9：重復(fù)步驟S6～步驟S8，依次對(duì)其余的沉積點(diǎn)進(jìn)行微跳躍沉積，直至沉積結(jié)束； S10：驅(qū)動(dòng)所述Z軸壓電陶瓷將所述探針向上移動(dòng)，與所述導(dǎo)電基底分離，完成沉積工作。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人南通大學(xué);南通天承光電科技有限公司，其通訊地址為：226100 江蘇省南通市嗇園路9號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。