西安交通大學孫昊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安交通大學申請的專利基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115888342B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211290421.3,技術領域涉及:B01D53/32;該發明授權基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置及方法是由孫昊;榮命哲;吳翊;郭運順;龍虎設計研發完成,并于2022-10-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置及方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置及方法,基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置中,利用高壓直流電源擊穿載氣產生溫等離子體,使含氟氣體進行電離分解,并與活性氣體反應抑制含氟氣體的復合反應。該裝置包括氣體控制輸入系統,控制載氣、含氟氣體、活性氣體的輸入流量;溫等離子體發生器,產生直流電弧,得到的溫等離子體噴流經過拉瓦爾噴口后快速冷卻;尾氣處理系統,產生的酸性氣體產物被吸附劑吸收,并由緩沖罐連接尾氣出口和循環泵,對含氟氣體進行循環多次降解,待尾氣檢驗合格后排放。
本發明授權基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置及方法在權利要求書中公布了:1.一種基于溫等離子體噴口電弧的含氟氣體降解裝置,其特征在于,其包括: 氣體控制輸入系統,其包括: 含氟氣體輸入線路,其包括依次連接的含氟氣體氣源、氣閥和質量流量計以提供含氟氣體流量; 活性氣體輸入線路,其包括依次連接的活性氣體氣源、氣閥和質量流量計以提供活性氣體流量; 惰性氣體輸入線路,其包括依次連接的惰性氣體氣源、氣閥和質量流量計以提供惰性氣體流量; 溫等離子體發生器,其包括: 絕緣基座; 陽極,其穿設于所述絕緣基座中,所述陽極設有反應氣體入口,來自含氟氣體輸入線路的含氟氣體和來自活性氣體輸入線路的活性氣體混合后導入所述反應氣體入口; 陰極,其固定連接所述絕緣基座且環繞所述陽極,所述陰極設有惰性氣體入口,來自惰性氣體輸入線路的惰性氣體導入所述惰性氣體入口; 陶瓷管,其穿設于所述陰極且朝向所述陽極,所述陶瓷管、陰極和陽極構成生成溫等離子體的反應空間,陶瓷管設有拉瓦爾噴口; 無害化處理系統,其包括: 酸性氣體吸附劑,其設于所述陶瓷管尾部內以吸收反應產生的酸性氣體; 緩沖罐,其連接所述陶瓷管,所述緩沖罐設有排放降解尾氣的尾氣出口; 循環泵,其一端連接所述緩沖罐,另一端連接反應氣體入口,以重新充入陽極進行反應。
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