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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司申請的專利一種晶圓倒角裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115673927B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211096270.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B9/06；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓倒角裝置是由劉全益;胡敬祥設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-09-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓倒角裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓倒角裝置，包括機架、固定單元和磨削單元，所述固定單元包括用于吸附晶圓片的真空吸盤、驅(qū)動真空吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和使旋轉(zhuǎn)機構(gòu)豎直上下移動的豎向調(diào)節(jié)機構(gòu)和驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)向遠離或靠近所述磨削單元方向移動的水平驅(qū)動機構(gòu)，所述真空吸盤通過氣管與外部抽真空機連通，磨削單元包括磨輪組件和第一驅(qū)動機構(gòu)，磨輪組件包括與磨輪本體和套設(shè)在所述磨輪本體外的磨削套，磨削套上形成有多個與第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸同軸設(shè)置的開口寬度可調(diào)的環(huán)形磨削槽。本發(fā)明能有效延長磨輪的使用時間，減少磨輪的更換頻次，提高工作效率。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓倒角裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓倒角裝置，包括機架、設(shè)置于所述機架上用于固定晶圓片的固定單元和對固定單元上的晶圓片的邊沿進行磨削倒角的磨削單元，所述固定單元包括水平設(shè)置的用于吸附晶圓片的真空吸盤、驅(qū)動所述真空吸盤繞自身軸線旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和調(diào)節(jié)使所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)豎直上下移動的豎向調(diào)節(jié)機構(gòu)和驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)向遠離或靠近所述磨削單元方向移動的水平驅(qū)動機構(gòu)，所述真空吸盤通過氣管與外部抽真空機連通，所述磨削單元包括磨輪組件和驅(qū)動所述磨輪組件旋轉(zhuǎn)以對所述晶圓片的邊沿進行去毛倒角的第一驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于： 所述磨輪組件包括與所述第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸可拆卸連接的磨輪本體和套設(shè)在所述磨輪本體外與磨輪本體可拆卸連接的磨削套，所述磨削套上形成有多個與所述第一驅(qū)動機構(gòu)的輸出軸同軸設(shè)置的開口寬度可調(diào)的環(huán)形磨削槽； 所述磨輪本體的下部形成環(huán)凹部，所述磨削套包括內(nèi)套環(huán)、封閉環(huán)、長條鍵、封堵塊和多個磨削環(huán)，所述內(nèi)套環(huán)套設(shè)在所述環(huán)凹部外與磨輪本體滑動連接，內(nèi)套環(huán)的外壁設(shè)置外螺紋，所述磨削環(huán)呈環(huán)狀體，磨削環(huán)的內(nèi)壁與內(nèi)環(huán)套的外壁螺紋連接，磨削環(huán)的上表面和下表面分別形成用于與晶圓片的邊沿接觸的下側(cè)磨削面和上側(cè)磨削面，相鄰磨削環(huán)間形成所述環(huán)形磨削槽，所述內(nèi)套環(huán)的外壁均布多個第一鍵槽，所述第一鍵槽豎直貫穿所述內(nèi)套環(huán)，所述磨削環(huán)的內(nèi)壁上與所述第一鍵槽配合地均布多個第二鍵槽，所述第二鍵槽豎直貫穿所述磨削環(huán)，所述第一鍵槽和所述第二鍵槽對齊時形成環(huán)形孔，所述長條鍵與所述環(huán)形孔滑動配合，第一鍵槽內(nèi)沿內(nèi)套環(huán)的徑向設(shè)置螺栓孔，所述磨輪本體上設(shè)置有與所述螺栓孔配合的螺紋孔，所述封閉環(huán)呈環(huán)狀體，封閉環(huán)與所述環(huán)凹部的下部外壁螺紋連接，封閉環(huán)上設(shè)置容所述長條鍵穿行的通孔，所述封堵塊可拆卸連接于所述磨輪本體底部將所述長條鍵下端封堵。

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