TCL華星光電技術有限公司尹紅山獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉TCL華星光電技術有限公司申請的專利光阻成型設備及光阻成型方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114690565B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210290770.9,技術領域涉及:G03F7/16;該發明授權光阻成型設備及光阻成型方法是由尹紅山設計研發完成,并于2022-03-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本光阻成型設備及光阻成型方法在說明書摘要公布了:本申請實施例公開了一種光阻成型設備及光阻成型方法,其中,光阻成型設備包括像素極板、噴灑裝置以及控制裝置。本申請的實施例通過像素極板上的各個像素電極吸附光阻液滴,使得光阻液滴按照其預設圖案吸附在襯底上,無需曝光顯影操作,簡化了加工工藝,同時不會有光阻材料因為刻蝕顯影而被浪費,提高了材料的利用率,在一定程度上克服了現有技術中存在的光阻成型工藝復雜且存在浪費的問題。
本發明授權光阻成型設備及光阻成型方法在權利要求書中公布了:1.一種光阻成型設備,其特征在于,所述光阻成型設備包括: 像素極板,包括基板和多個像素電極,所述像素電極板設置于基板上,形成像素電極陣列; 噴灑裝置,設置于所述像素極板設有像素電極的一側,包括機架以及設置于機架上的多個導電噴頭,所述導電噴頭朝向所述像素極板設置; 控制裝置,分別與所述像素極板以及所述噴灑裝置電信號連接,所述控制裝置控制所述導電噴頭向像素極板噴灑帶電光阻液滴,同時根據預設圖案控制所述像素極板上的各個像素電極的通斷,以使所述帶電光阻液滴按照預設圖案被所述像素極板吸附。
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