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龍圖騰網(wǎng)獲悉瑤芯微電子科技(上海)有限公司申請的專利一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114915885B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110170461.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H04R19/00；該發(fā)明授權(quán)一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)是由郭亮良設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-02-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)，該背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)包括位于振膜與基板之間的導電結(jié)構(gòu)，在振膜與基板形成結(jié)構(gòu)連接，由于振膜材料和基板均具有導電性，所以二者之間同時也實現(xiàn)了電性連接。其中，導電結(jié)構(gòu)可以包括位于支架外側(cè)壁的第一導電部、位于支架內(nèi)側(cè)壁的第二導電部，還可以包括位于支架內(nèi)的第三導電部，可以加強振膜與基板之間的電性連接效果。本發(fā)明封裝結(jié)構(gòu)包括電路板、金屬封裝外殼、上述MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及專用集成電路，該封裝結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)背極位于由振膜、基板、電路板和金屬封裝外殼共同組成的法拉第籠中，達到有效屏蔽外界射頻干擾信號的作用，有效提升背進音式MEMS麥克風的抗射頻干擾能力。

本發(fā)明授權(quán)一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)及其封裝結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種背進音式MEMS麥克風結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 基板，所述基板中設(shè)有在垂直方向上貫穿所述基板的空腔； 振膜，懸設(shè)于所述空腔上方； 支架，位于所述振膜與所述基板之間以支撐所述振膜； 導電結(jié)構(gòu)，位于所述振膜與所述基板之間以電連接所述振膜與所述基板； 背極，位于所述振膜上方，且所述背極與所述振膜之間具有氣隙，所述背極中設(shè)有多個在垂直方向上貫穿所述背極的第一聲孔，所述第一聲孔與所述氣隙連通； 背板，與所述基板及所述背極連接，所述背板中設(shè)有多個在垂直方向上貫穿所述背板的第二聲孔，所述第二聲孔與所述第一聲孔連通； 所述導電結(jié)構(gòu)與所述支架連接；所述導電結(jié)構(gòu)包括位于所述支架外側(cè)壁的第一導電部，位于所述支架內(nèi)側(cè)壁的第二導電部，以及在垂直方向上貫穿所述支架的第三導電部，所述第三導電部的側(cè)壁被所述支架所包圍；在所述振膜的中心指向所述振膜的邊緣方向上，所述導電結(jié)構(gòu)包括由內(nèi)而外間隔排列的至少兩個所述第三導電部。

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