ASML控股股份有限公司L·雷日科夫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML控股股份有限公司申請的專利具有遠心轉換器的放大率恒定的多級光學裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114391125B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080063621.8，技術領域涉及：G03F9/00；該發明授權具有遠心轉換器的放大率恒定的多級光學裝置是由L·雷日科夫;Y·烏拉迪米爾斯基設計研發完成，并于2020-08-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有遠心轉換器的放大率恒定的多級光學裝置在說明書摘要公布了：一種預對準系統，所述預對準系統包括被配置成收集來自圖案形成裝置的衍射束的公共物鏡組，其中公共物鏡組還被配置成在預對準系統的物空間中產生遠心度。預對準系統還包括具有至少一個圖像透鏡系統的多路徑傳感陣列，其中至少一個圖像透鏡系統包括遠心轉換器透鏡，所述遠心轉換器透鏡被配置成在預對準系統的像空間中產生遠心度。
本發明授權具有遠心轉換器的放大率恒定的多級光學裝置在權利要求書中公布了：1.一種具有至少兩個通道的預對準系統，包括： 公共物鏡組，所述公共物鏡組被配置成收集來自圖案形成裝置的衍射束，其中所述公共物鏡組還被配置成在所述預對準系統的物空間中產生遠心度； 多路徑傳感陣列，所述多路徑傳感陣列包括至少一個圖像透鏡系統，其中所述至少一個圖像透鏡系統包括： 遠心轉換器透鏡，所述遠心轉換器透鏡被配置成在所述預對準系統的像空間中產生遠心度；以及 用于所述至少一個圖像透鏡系統中的每個圖像透鏡系統的檢測器，其中所述檢測器被配置成基于所述衍射束而產生預對準信號； 其中所述至少兩個通道對所述圖案形成裝置的不同光學特性提供分析和測量，并且針對每個通道定制所述遠心轉換器透鏡的三維輪廓或形狀。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML控股股份有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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