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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利溫度調整裝置、基板處理裝置以及控制載置臺的控制方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN112053971B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202010476790.6，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權溫度調整裝置、基板處理裝置以及控制載置臺的控制方法是由小泉克之設計研發(fā)完成，并于2020-05-29向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本溫度調整裝置、基板處理裝置以及控制載置臺的控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供溫度調整裝置、基板處理裝置以及控制載置臺的控制方法。該溫度調整裝置具備：載置臺，其具有多個加熱部和多個溫度檢測部，所述多個加熱部設置于在徑向和周向上分別具有至少兩個以上的單獨區(qū)段的區(qū)段區(qū)域內(nèi)的每個所述單獨區(qū)段，所述多個溫度檢測部設置于多個所述單獨區(qū)段，且數(shù)量比所述單獨區(qū)段的數(shù)量少；以及控制裝置，其根據(jù)所述溫度檢測部檢測出的溫度來控制在第一單獨區(qū)段和第二單獨區(qū)段設置的所述加熱部，所述第一單獨區(qū)段是設置有所述溫度檢測部的單獨區(qū)段，所述第二單獨區(qū)段是與所述第一單獨區(qū)段同步地進行控制且未設置所述溫度檢測部的單獨區(qū)段，其中，所述控制裝置具有切換與所述第一單獨區(qū)段同步地進行控制的第二單獨區(qū)段的切換部。

本發(fā)明授權溫度調整裝置、基板處理裝置以及控制載置臺的控制方法在權利要求書中公布了：1.一種溫度調整裝置，具備： 載置臺，其具有多個加熱部和多個溫度檢測部，所述多個加熱部設置于在徑向和周向上分別具有至少兩個以上的單獨區(qū)段的區(qū)段區(qū)域內(nèi)的每個所述單獨區(qū)段，所述多個溫度檢測部設置于多個所述單獨區(qū)段，并且所述多個溫度檢測部的數(shù)量比所述單獨區(qū)段的數(shù)量少；以及 控制裝置，其根據(jù)所述溫度檢測部檢測出的溫度，來控制在第一單獨區(qū)段設置的所述加熱部和在第二單獨區(qū)段設置的所述加熱部，所述第一單獨區(qū)段是設置有所述溫度檢測部的單獨區(qū)段，所述第二單獨區(qū)段是與所述第一單獨區(qū)段同步地進行控制且未設置所述溫度檢測部的單獨區(qū)段， 其中，所述控制裝置具有切換部，該切換部切換與所述第一單獨區(qū)段同步地進行控制的第二單獨區(qū)段， 其中，所述切換部在與所述第一單獨區(qū)段在徑向上相鄰的所述單獨區(qū)段以及與所述第一單獨區(qū)段在周向上相鄰的所述單獨區(qū)段之間切換所述第二單獨區(qū)段， 設置有所述溫度檢測部的單獨區(qū)段和未設置所述溫度檢測部的單獨區(qū)段在所述徑向和所述周向上交替地設置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。