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龍圖騰網獲悉柯爾微電子裝備(廈門)有限公司申請的專利晶圓檢測設備及晶圓檢測方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120314331B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510789713.9，技術領域涉及：G01N21/95；該發明授權晶圓檢測設備及晶圓檢測方法是由胡俊林;鄭隆結;孫會民設計研發完成，并于2025-06-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓檢測設備及晶圓檢測方法在說明書摘要公布了：本公開提供一種晶圓檢測設備及檢測方法，用于解決如何提升晶圓檢測效率問題。晶圓檢測設備包括：雙面檢測單元，雙面檢測單元包括：掃描載臺、正面光學成像模塊與背面光學成像模塊，掃描載臺可沿第一方向直線移動；正面光學成像模塊與背面光學成像模塊分別設置在掃描載臺的相對兩側，并分別設置有背面明場光源和背面暗場光源；當掃描載臺沿第一方向的正方向移動時，正面明場光源和背面明場光源同步開啟，正面光學成像模塊和背面光學成像模塊分別生成晶圓正面和背面的明場圖像；當掃描載臺沿第一方向的負方向移動時，正、背面暗場光源同步開啟，正面光學成像模塊和背面光學成像模塊分別生成晶圓正面和背面的暗場圖像。

本發明授權晶圓檢測設備及晶圓檢測方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓檢測設備，其特征在于，包括：雙面檢測單元，所述雙面檢測單元包括： 掃描載臺，用于放置晶圓并沿第一方向直線移動；以及 正面光學成像模塊與背面光學成像模塊，分別設置在掃描載臺的相對兩側，所述正面光學成像模塊設置有正面明場光源和正面暗場光源，所述背面光學成像模塊設置有背面明場光源和背面暗場光源； 其中，當所述掃描載臺沿第一方向的正方向移動時，所述正面明場光源和背面明場光源同步開啟，所述正面光學成像模塊生成晶圓正面的明場圖像，所述背面光學成像模塊生成晶圓背面的明場圖像；當所述掃描載臺沿第一方向的負方向移動時，所述正面暗場光源和背面暗場光源同步開啟，所述正面光學成像模塊生成晶圓正面的暗場圖像，所述背面光學成像模塊生成晶圓背面的暗場圖像； 所述正面光學成像模塊與背面光學成像模塊，分別設置在所述掃描載臺的上方和下方；所述掃描載臺遮擋晶圓背面的部分區域； 所述晶圓檢測設備還包括旋轉升降裝置，所述旋轉升降裝置設置于掃描載臺下方，所述旋轉升降裝置在掃描載臺沿第一方向的正方向和負方向移動后，抬升晶圓并旋轉第一角度，使被掃描載臺遮擋的晶圓背面的部分區域露出； 所述背面光學成像模塊生成旋轉后的晶圓背面的明場圖像和暗場圖像，并通過將晶圓背面旋轉前、后的圖像拼接生成完整的晶圓背面圖像。

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