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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)計(jì)量大學(xué)申請(qǐng)的專利邁克爾遜干涉儀及微小件形貌檢測(cè)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120252498B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510732111.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B9/02015；該發(fā)明授權(quán)邁克爾遜干涉儀及微小件形貌檢測(cè)方法是由陳煜茗;康一明;崔永輝;張焓;林思彤;劉昊昀;徐成;閆婷婷;沈洋設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本邁克爾遜干涉儀及微小件形貌檢測(cè)方法在說明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開了一種邁克爾遜干涉儀及微小器件形貌檢測(cè)方法，干涉儀包括兩路干涉光路。第一干涉光路中，第一光源的光束經(jīng)第一分束鏡分束，一束反射到待測(cè)物，另一束透射到第一測(cè)試反射鏡，兩束光分別返回至第一分束鏡發(fā)生干涉，第一圖像采集系統(tǒng)接收第一干涉圖像；第二干涉光路中，第二光源的光束經(jīng)第二分束鏡分束，一束反射到校準(zhǔn)反射鏡，另一束透射到第二測(cè)試反射鏡，兩束光分別返回至第二分束鏡發(fā)生干涉，第二圖像采集系統(tǒng)接收第二干涉圖像；兩路干涉光路共用同一壓電陶瓷，壓電陶瓷控制第一測(cè)試反射鏡和第二測(cè)試反射鏡的位移。本申請(qǐng)能夠基于第二干涉圖像對(duì)第一干涉圖像進(jìn)行修正，基于修正的第一干涉圖像進(jìn)行圖像復(fù)原，獲得待測(cè)物的表面形貌。

本發(fā)明授權(quán)邁克爾遜干涉儀及微小件形貌檢測(cè)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種邁克爾遜干涉儀，其特征在于，所述邁克爾遜干涉儀包括： 第一邁克爾遜干涉光路，包括第一光源、工作臺(tái)、第一分束鏡、第一測(cè)試反射鏡和第一圖像采集系統(tǒng)，所述工作臺(tái)用于放置待測(cè)物，所述第一光源發(fā)射的光束經(jīng)過所述第一分束鏡分束，一束反射到所述待測(cè)物表面，另一束透射到所述第一測(cè)試反射鏡，兩束光分別經(jīng)過所述待測(cè)物和所述第一測(cè)試反射鏡的反射返回，于所述第一分束鏡處發(fā)生干涉，所述第一圖像采集系統(tǒng)接收第一干涉圖像； 第二邁克爾遜干涉光路，包括第二光源、校準(zhǔn)反射鏡、第二分束鏡、第二測(cè)試反射鏡和第二圖像采集系統(tǒng)，所述第二光源發(fā)射的光束經(jīng)過所述第二分束鏡分束，一束反射到所述校準(zhǔn)反射鏡表面，另一束透射到所述第二測(cè)試反射鏡，兩束光分別經(jīng)過所述校準(zhǔn)反射鏡和所述第二測(cè)試反射鏡的反射返回，于所述第二分束鏡處發(fā)生干涉，所述第二圖像采集系統(tǒng)接收第二干涉圖像； 所述第一邁克爾遜干涉光路和所述第二邁克爾遜干涉光路共用同一壓電陶瓷，所述壓電陶瓷被配置為用于控制所述第一測(cè)試反射鏡和第二測(cè)試反射鏡的位移。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)計(jì)量大學(xué)，其通訊地址為：310018 浙江省杭州市下沙高教園區(qū)學(xué)源街258號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。