蘭州大學顧龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘭州大學申請的專利一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120129135B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510624639.5,技術領域涉及:H05H1/24;該發明授權一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗及其制備方法是由顧龍;楊洋;王冠;蘇興康;張世旭;張璐;周文銘;戴中穎設計研發完成,并于2025-05-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明涉及離子源微波窗技術領域,具體涉及一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗及其制備方法,所述的離子源微波窗由微波窗基體層、復合功能薄膜層和表面織構層組成;特別適用于電子回旋共振(ECR)離子源及其相關應用,尤其在高功率微波激勵和高密度等離子體環境下,能夠有效抑制表面打火現象,減少燒蝕,提升微波耦合效率、延長微波窗的使用壽命,且具有優異的導熱性能和耐擊穿性能。
本發明授權一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種具備復合功能薄膜與表面織構的離子源微波窗,其特征在于,所述的離子源微波窗由微波窗基體層、復合功能薄膜層和表面織構層組成,所述的復合功能薄膜層沉積在微波窗基體層的真空側表面,所述的表面織構層覆蓋于復合功能薄膜上表面,所述的表面織構層呈蜂窩狀,孔徑為50-200μm,孔深為2-3μm。
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