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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司申請的專利一種晶圓刻蝕用加熱裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120149212B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510615400.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓刻蝕用加熱裝置是由黃桐銘;劉文浩;陳培設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-05-14向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓刻蝕用加熱裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種晶圓刻蝕用加熱裝置，包括：安裝座，安裝座一側(cè)裝配若干加熱燈環(huán)，若干加熱燈環(huán)同軸設(shè)置且內(nèi)徑由內(nèi)至外依次增大；安裝座包括底座和安裝板，底座與安裝板之間圍合形成容納腔，若干加熱燈環(huán)裝配于安裝板遠(yuǎn)離容納腔一側(cè)，容納腔內(nèi)設(shè)置刻蝕液路，刻蝕液路具有的噴頭由安裝板裝配加熱燈環(huán)一側(cè)穿出以噴灑刻蝕液至晶圓表面。本發(fā)明用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的對晶圓的內(nèi)側(cè)和外側(cè)加熱效果不一致而導(dǎo)致晶圓受熱不均，進(jìn)而影響晶圓刻蝕效果的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓刻蝕用加熱裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓刻蝕用加熱裝置，其特征在于，包括：安裝座，所述安裝座一側(cè)裝配若干加熱燈環(huán)，若干所述加熱燈環(huán)同軸設(shè)置且內(nèi)徑由內(nèi)至外依次增大； 所述安裝座包括底座和安裝板，所述底座與安裝板之間圍合形成容納腔，若干所述加熱燈環(huán)裝配于所述安裝板遠(yuǎn)離容納腔一側(cè)，所述容納腔內(nèi)設(shè)置刻蝕液路，所述刻蝕液路具有的噴頭由所述安裝板裝配加熱燈環(huán)一側(cè)穿出以噴灑刻蝕液至晶圓表面； 所述安裝板遠(yuǎn)離容納腔一側(cè)裝配透明燈罩，所述噴頭由安裝板穿出后穿過所述透明燈罩以噴灑刻蝕液至晶圓表面； 所述刻蝕液路包括第一進(jìn)液閥以及磷酸管路，所述第一進(jìn)液閥固接于所述底座內(nèi)，所述磷酸管路的一端與第一進(jìn)液閥連通，另一端通過第一三通接頭的一個接口連接至所述噴頭，環(huán)繞所述磷酸管路設(shè)有加熱絲； 所述刻蝕液路還具有連通管路和第二三通接頭，所述連通管路的一端連接至第一三通接頭的第三個接口，所述連通管路的另一端連接至第二三通接頭的一個接口，所述第二三通接頭的第二個接口連接第二管體，所述第二三通接頭的第三個接口連接至所述噴頭； 所述噴頭設(shè)置為一體成型于透明燈罩的出液管，所述出液管向容納腔內(nèi)延伸并通過第一轉(zhuǎn)接頭連接至所述第二三通接頭的第三個接口； 所述安裝板通過承托裝置裝配于底座的頂端開口處，所述承托裝置包括固定環(huán)，所述固定環(huán)包括平行于晶圓所在平面的環(huán)形連接板以及垂直固接于環(huán)形連接板開口處的定位環(huán)，所述環(huán)形連接板扣合于底座的頂端并通過連接件固定，所述透明燈罩所具有的環(huán)形側(cè)壁的內(nèi)側(cè)和外側(cè)分別與所述定位環(huán)的內(nèi)壁以及所述安裝板的外壁貼合； 所述承托裝置還包括承托環(huán)和承托板，所述承托環(huán)設(shè)于底座的開口處并且同軸裝配于所述固定環(huán)的下表面，所述承托環(huán)的內(nèi)緣向遠(yuǎn)離固定環(huán)的方向延伸抵持承托板的下表面； 所述固定環(huán)內(nèi)側(cè)形成環(huán)形的定位臺階，所述定位臺階與承托板的頂面和環(huán)形側(cè)壁貼合，所述透明燈罩沿直徑方向設(shè)置不少于兩個的定位柱，所述定位柱穿過所述安裝板后嵌入形成于承托板頂面形成的定位槽內(nèi)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州智程半導(dǎo)體科技股份有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)中華路889號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。