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龍圖騰網(wǎng)獲悉盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司申請的專利雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)、方法及計算機可讀介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120127033B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510594876.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)、方法及計算機可讀介質(zhì)是由謝翔;張曉燕;胡海波;陶澤魏;宗源設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-05-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)、方法及計算機可讀介質(zhì)在說明書摘要公布了：本申請公開了一種雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)、方法及計算機可讀介質(zhì)，雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)包括防護罩、晶圓夾具、供液單元、視覺采集單元、傳感器單元以及控制單元，防護罩具有開口和容納腔；晶圓夾具位于容納腔內(nèi)，用于帶動晶圓旋轉(zhuǎn)；供液單元用于通過開口向容納腔內(nèi)的晶圓供應(yīng)化學(xué)液；視覺采集單元用于采集包含開口在內(nèi)的采集區(qū)域中化學(xué)液的第一濺液數(shù)據(jù)；傳感器單元包括第一檢測模塊，用于檢測通過開口飛濺到容納腔外的化學(xué)液的第二濺液數(shù)據(jù)；控制單元分別與視覺采集單元和傳感器單元通信連接，用于基于第一濺液數(shù)據(jù)和第二濺液數(shù)據(jù)，執(zhí)行不同等級的控制操作。本申請能夠?qū)崿F(xiàn)雙級濺液監(jiān)測，減少晶圓報廢，進而降低成本，從而顯著提升經(jīng)濟效益。

本發(fā)明授權(quán)雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)、方法及計算機可讀介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種雙級濺液監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，包括： 防護罩，具有開口和容納腔； 晶圓夾具，位于所述容納腔內(nèi)，用于帶動晶圓旋轉(zhuǎn)； 供液單元，用于通過所述開口向所述容納腔內(nèi)的晶圓供應(yīng)化學(xué)液； 視覺采集單元，用于采集包含所述開口在內(nèi)的采集區(qū)域中化學(xué)液的第一濺液數(shù)據(jù)； 傳感器單元，包括第一檢測模塊，用于檢測通過所述開口飛濺到所述容納腔外的化學(xué)液的第二濺液數(shù)據(jù)；以及 控制單元，分別與所述視覺采集單元和所述傳感器單元通信連接，用于基于所述第一濺液數(shù)據(jù)和所述第二濺液數(shù)據(jù)，執(zhí)行不同等級的控制操作。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)丹桂路999弄5、6、7、8號全幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。