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龍圖騰網獲悉浙江大學申請的專利一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120102576B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510585790.2，技術領域涉及：G01N21/88；該發明授權一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法是由楊青;劉泓圻;金偉正;章岳光設計研發完成，并于2025-05-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法，屬于晶圓缺陷檢測技術領域，包括以下步驟：將晶圓圖案離散化為多個離散點，同時根據照明光源類型，將照明光源的形狀離散化為多個點光源并得到單個點光源坐標；針對每個點光源，利用其坐標由嚴格矢量衍射積分模型獲取點光源照明時對應每個離散點處晶圓圖案的空間像；對所有點光源對應的晶圓圖案的空間像進行疊加，獲得部分相干照明時對應晶圓圖案的空間像，這樣可以實現對晶圓圖案空間像的精確獲取，從而有效提升晶圓缺陷檢測的可靠性與效率，滿足半導體行業對高精度、高適應性檢測技術的迫切需求，推動集成電路芯片制造質量的提升。

本發明授權一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法在權利要求書中公布了：1.一種基于嚴格矢量衍射積分獲取圖案晶圓空間像的方法，其特征在于，包括以下步驟： 將晶圓圖案離散化為多個離散點，同時根據照明光源類型，將照明光源的形狀離散化為多個點光源并得到單個點光源坐標； 針對每個點光源，利用其坐標由嚴格矢量衍射積分模型獲取點光源照明時對應每個離散點處晶圓圖案的空間像，包括： 根據點光源坐標，計算點光源的出射光經過晶圓圖案反射后，在晶圓圖案表面的N*M個離散點處近場衍射的電場分布和磁場分布； 利用傅里葉光學成像理論計算電場分布和磁場分布在頻譜面的傅里葉變換結果和，其中，頻譜面的坐標由全局坐標系x，y變換得到； 基于嚴格矢量衍射積分模型計算各個電磁場偏振分量的傳遞函數； 由傳遞函數與傅里葉變換結果和相乘計算給定孔徑產生的衍射圖樣； 利用傅里葉光學成像理論，對衍射圖樣進行逆傅里葉變換得到遠場的電場分布和磁場分布，根據電場分布獲取點光源對應每個離散點處晶圓圖案的空間像Ix，y； 對所有點光源對應的晶圓圖案的空間像進行疊加，獲得部分相干照明時對應晶圓圖案的空間像。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學，其通訊地址為：310058 浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。