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龍圖騰網獲悉奧芯半導體科技(太倉)有限公司申請的專利玻璃基板表面潔凈度測試設備及測試方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119880927B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510090272.3，技術領域涉及：G01N21/94；該發明授權玻璃基板表面潔凈度測試設備及測試方法是由劉正愛;洪志王;程傳壘設計研發完成，并于2025-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本玻璃基板表面潔凈度測試設備及測試方法在說明書摘要公布了：本發明屬于檢測技術領域，尤其涉及玻璃基板表面潔凈度測試設備及測試方法；本發明提供了一種玻璃基板表面潔凈度測試設備，包括：檢測工位，其設置在檢測平臺上，且每個檢測工位內均設置有一支撐工裝；搬運裝置，其設置在檢測平臺側壁；檢測裝置，其滑動設置在檢測平臺上方；其中，搬運裝置吸附玻璃基板移動至檢測工位上方后，將玻璃基板傾斜放置在檢測工位；玻璃基板一端與支撐工裝抵接，所述支撐工裝適于限位玻璃基板以防止玻璃基板晃動；檢測裝置向玻璃基板發送平行光束，光束穿過傾斜狀的玻璃基板后發生折射，以放大玻璃基板表面污漬的灰度投影；通過檢測工位的設置，檢測時，玻璃基板傾斜狀放置在檢測工位上，能夠放大玻璃基板表面的灰度投影，提高檢測精度和效率。

本發明授權玻璃基板表面潔凈度測試設備及測試方法在權利要求書中公布了：1.一種玻璃基板表面潔凈度測試設備，其特征在于，包括： 檢測平臺（1）； 若干檢測工位（2），其設置在檢測平臺（1）上，且每個檢測工位（2）內均設置有一支撐工裝（20）； 檢測裝置（4），其滑動設置在檢測平臺（1）上方； 其中，玻璃基板移動至檢測工位（2）上方后，將玻璃基板傾斜放置在檢測工位（2）； 玻璃基板一端與支撐工裝（20）抵接，以與支撐工裝（20）的內壁形成玻璃基板限位區； 檢測裝置（4）向玻璃基板發送平行光束，光束穿過傾斜狀的玻璃基板后發生折射，以放大玻璃基板表面污漬的灰度投影； 所述檢測工位（2）包括：底座（21），其內部開設一容納槽（22），且上端敞口； 定位條（23），兩所述定位條（23）對稱設置在容納槽（22）側壁，且與水平面之間設有傾斜夾角； 隔板（24），其水平設置在容納槽（22）內，且與容納槽（22）底壁設有間隙； 所述支撐工裝（20）鉸接在容納槽（22）遠離定位條（23）的一端側壁； 其中，玻璃基板底壁與定位條（23）抵接后，玻璃基板推動所述支撐工裝（20）以鉸接點為軸翻轉； 所述容納槽（22）內壁遠離支撐工裝（20）處設置有一噴淋裝置（25），所述噴淋裝置（25）的噴淋頭朝向支撐工裝（20）； 若玻璃基板檢測出有污漬，噴淋裝置（25）向玻璃基板底壁噴水以清理污漬，水流自玻璃基板底壁掉落在隔板（24）上； 支撐工裝（20）在翻轉時，隔板（24）上的水流適于流向容納槽（22）底壁； 所述支撐工裝（20）包括：支撐板（201），其水平設置； 轉軸（202），其轉動設置在容納槽（22）的內壁，且貫穿所述支撐板（201）； 密封板（203），其垂直設置在支撐板（201）的底壁，且與隔板（24）抵接； 其中，玻璃基板底壁與定位條（23）抵接時，玻璃基板頂推所述支撐板（201）以轉軸（202）為軸翻轉，以使密封板（203）遠離隔板（24）； 所述隔板（24）為透明材質，所述隔板（24）底壁設置有一灰度相機（27），所述灰度相機（27）被配置為獲取隔板（24）上表面的灰度影像。

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