株式會社斯庫林集團安陪裕滋獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利涂布方法以及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117438291B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310870363.X，技術領域涉及：H01L21/027；該發明授權涂布方法以及存儲介質是由安陪裕滋設計研發完成，并于2023-07-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本涂布方法以及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供能夠抑制基板的消耗的同時對吐出控制參數進行再調整的技術。在步驟S6中，評價通過步驟S5的實際涂布獲取的實際涂布壓力波形Wr1是否與第一理想波形Wt1相同。當在步驟S6中評價為實際涂布壓力波形Wr1與第一理想波形Wt1不同的情況下，進行吐出控制參數的再調整。在吐出控制參數的再調整中，進行更新吐出控制參數的步驟S7、通過進行模擬涂布來獲取模擬涂布壓力波形的步驟S8以及評價模擬涂布壓力波形與第二理想波形Wt2是否相同的步驟S9。
本發明授權涂布方法以及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種涂布方法，對基板涂布處理液，其中，包括： 實際涂布工序，進行根據預先設定的吐出控制參數，使所述基板相對于噴嘴移動，并從所述噴嘴向所述基板吐出處理液的實際涂布； 第一獲取工序，獲取表示所述實際涂布工序中的所述噴嘴的吐出壓力隨時間發生的變化的實際涂布壓力波形； 第一評價工序，評價所述實際涂布壓力波形；以及 再調整工序，基于所述第一評價工序的評價結果，對所述吐出控制參數進行再調整； 所述再調整工序包括： 第一模擬涂布工序，進行根據所述吐出控制參數，從所述噴嘴向所述基板以外的部位吐出所述處理液的模擬涂布； 第二獲取工序，獲取表示所述第一模擬涂布工序中的所述吐出壓力隨時間發生的變化的第一模擬涂布壓力波形； 第二評價工序，評價所述第一模擬涂布壓力波形；以及 第一更新工序，基于所述第二評價工序的評價結果，更新所述吐出控制參數。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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