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龍圖騰網獲悉中國科學院上海技術物理研究所申請的專利一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116679443B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310694444.9，技術領域涉及：G02B26/08；該發明授權一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法是由程正喜;徐鶴靚;陳永平;馬斌設計研發完成，并于2023-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法，微鏡結構包括：設于襯底上的微橋結構，所述微橋結構包括支撐及電連接柱，和活動支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面；所述微橋橋面上設有微鏡鏡面，所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接，所述支撐及電連接柱電連接所述襯底，所述微鏡鏡面受驅動時，帶動所述微橋橋面在所述支撐及電連接柱上繞活動支撐處偏轉。本發明能夠顯著降低微鏡的吸合電壓，并可降低器件的工作電壓。

本發明授權一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法在權利要求書中公布了：1.一種采用活動支撐的微鏡結構，其特征在于，包括： 設于襯底上的微橋結構，所述微橋結構包括支撐及電連接柱，和活動支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面；所述微橋橋面上設有微鏡鏡面，所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接，所述支撐及電連接柱電連接所述襯底，所述微鏡鏡面受驅動時，帶動所述微橋橋面在所述支撐及電連接柱上繞活動支撐處偏轉； 所述支撐及電連接柱為兩個，所述支撐及電連接柱上設有導電軸套，所述微橋橋面連接在導電扭臂的側面上，所述扭臂通過兩端穿設于兩個所述支撐及電連接柱的所述軸套中形成活動支撐配合，所述微鏡鏡面通過所述扭臂、所述軸套和所述支撐及電連接柱電連接所述襯底； 所述支撐及電連接柱形成于溝槽中，所述溝槽設于犧牲層中，所述犧牲層位于所述襯底與所述微橋橋面之間，所述支撐及電連接柱包括形成于所述溝槽的部分側壁表面上的導電體和位于所述導電體內側的支撐體，所述微橋橋面活動支撐于所述支撐體和所述導電體上，所述微鏡鏡面通過所述導電體電連接所述襯底，所述微橋結構通過去除所述犧牲層得以釋放；其中，所述微鏡結構在所述襯底上按行列方式排列形成陣列，位于同行或同列的任意兩個相鄰的所述微鏡結構之間共用同一個所述支撐及電連接柱，或者，位于同行或同列的任意兩個相鄰的所述微鏡結構的各自一個所述支撐及電連接柱相靠近設置，并形成于同一個所述溝槽的相對側的側壁上。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院上海技術物理研究所，其通訊地址為：200083 上海市虹口區玉田路500號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。