深圳市金鑫豐利珠寶首飾有限公司何金鑫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市金鑫豐利珠寶首飾有限公司申請的專利一種金剛石薄膜及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116479398B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310488614.8,技術領域涉及:C23C16/02;該發明授權一種金剛石薄膜及其制備方法是由何金鑫設計研發完成,并于2023-04-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種金剛石薄膜及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明涉及金剛石薄膜技術領域,具體為一種金剛石薄膜及其制備方法,該制備方法包括:S1、在基底表面制備一層摻雜鋅的金剛石薄膜;S2、將所述摻雜鋅的金剛石薄膜先在惰性氣氛中進行高溫處理,使部分鋅蒸發形成多孔結構,得到摻雜鋅的多孔金剛石薄膜;S3、在所述摻雜鋅的多孔金剛石薄膜表面制備一層純的金剛石膜。本發明利用鋅的沸點相對較低特性,在金剛石薄膜中摻雜鋅,可通過加熱使部分鋅蒸發形成多孔結構,將其作為過渡層,能夠利用多孔結構釋放熱應力,緩解基底和金剛石膜之間熱膨脹系數差異的影響,從而顯著提高金剛石膜的附著力、硬度和耐磨使用壽命,而且具有良好的透光性。
本發明授權一種金剛石薄膜及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種金剛石薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟: S1、在基底表面制備一層摻雜鋅的金剛石薄膜;所述摻雜鋅的金剛石薄膜中鋅原子的摩爾含量為2%-6%;所述基底為硅酸鹽基底、碳化硅基底、氮化硅基底或單晶硅基底,基底溫度為700-900℃; S2、將所述摻雜鋅的金剛石薄膜先在惰性氣氛中進行高溫處理,使部分鋅蒸發形成多孔結構,得到摻雜鋅的多孔金剛石薄膜;高溫處理的溫度為910-1100℃;所述高溫處理蒸發掉的鋅占原始摻雜的鋅的10%-80%; S3、在所述摻雜鋅的多孔金剛石薄膜表面制備一層純的金剛石膜,利用多孔結構釋放熱應力,以提高金剛石膜的附著力;所述摻雜鋅的多孔金剛石薄膜的厚度為0.05-5μm,所述金剛石膜的厚度為0.05-10μm。
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