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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社荏原制作所申請(qǐng)的專(zhuān)利基板保持器、鍍覆裝置以及鍍覆方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116411330B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310461440.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C25D17/02；該發(fā)明授權(quán)基板保持器、鍍覆裝置以及鍍覆方法是由高橋直人設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-04-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本基板保持器、鍍覆裝置以及鍍覆方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及基板保持器、鍍覆裝置以及鍍覆方法，上述基板保持器用于保持基板，并使基板與鍍覆液接觸而進(jìn)行鍍覆，具備：接頭，用于與在上述基板的表面形成的種子層接觸并供電；保護(hù)電極，是不溶解性的電極且相對(duì)于上述接頭向高電位側(cè)偏置；以及保持器主體，具有內(nèi)部空間，該內(nèi)部空間在由上述基板保持器保持上述基板的狀態(tài)下，以從上述基板保持器的外部密封的狀態(tài)將上述基板的外周部、上述接頭以及上述保護(hù)電極收納，并且對(duì)至少將上述保護(hù)電極的一部分、以及、上述種子層與上述接頭接觸的接觸部位覆蓋的液體進(jìn)行保持。

本發(fā)明授權(quán)基板保持器、鍍覆裝置以及鍍覆方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板保持器，所述基板保持器用于保持基板，并使基板與鍍覆液接觸而進(jìn)行鍍覆，其中，具備： 接頭，用于與在所述基板的表面形成的種子層接觸并供電； 保護(hù)電極，是不溶解性的電極且相對(duì)于所述接頭向高電位側(cè)偏置；以及 保持器主體，具有內(nèi)部空間，該內(nèi)部空間在由所述基板保持器保持所述基板的狀態(tài)下，以從所述基板保持器的外部密封的狀態(tài)將所述基板的外周部、所述接頭以及所述保護(hù)電極收納，并且對(duì)至少將所述保護(hù)電極的一部分、以及、所述種子層與所述接頭接觸的接觸部位覆蓋的液體進(jìn)行保持。

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