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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底對位裝置、襯底處理裝置、襯底對位方法及襯底處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115602596B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210790732.X，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權襯底對位裝置、襯底處理裝置、襯底對位方法及襯底處理方法是由沖田展彬;筱原智之;石井淳一;中村一樹;筱原敬;髙橋拓馬;岡田吉文;加藤洋設計研發完成，并于2022-07-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本襯底對位裝置、襯底處理裝置、襯底對位方法及襯底處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底對位裝置、襯底處理裝置、襯底對位方法及襯底處理方法。襯底對位裝置包含以俯視下相互對向的方式且分開的方式配置，分別從襯底的下方位置支撐襯底的外周端部的第1支撐部件及第2支撐部件。另外，襯底對位裝置具備：第1按壓部件，以俯視下與第1支撐部件對向的方式配置，在襯底由第1及第2支撐部件支撐的狀態下，在從第2支撐部件朝向第1支撐部件的第1方向按壓所述襯底的外周端部的一部分，由此使襯底移動。第1支撐部件包含限制襯底超過預先確定的規定位置向第1方向移動的移動限制部。

本發明授權襯底對位裝置、襯底處理裝置、襯底對位方法及襯底處理方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底對位裝置，其是進行襯底的對位的襯底對位裝置，且具備： 第1及第2支撐部件，以俯視下相互對向的方式且分開的方式配置，分別從所述襯底的下方的位置支撐所述襯底的外周端部； 第1按壓部件，以俯視下與所述第1支撐部件對向的方式配置，在所述襯底由所述第1及第2支撐部件支撐的狀態下，在從所述第2支撐部件朝向所述第1支撐部件的第1方向按壓所述襯底的外周端部的一部分，由此使所述襯底在所述第1及第2支撐部件上移動； 第1按壓驅動部，驅動所述第1按壓部件； 第2按壓部件，以俯視下與所述第2支撐部件對向的方式配置，在與所述第1方向相反的第2方向按壓所述襯底的外周端部的其它部分； 第2按壓驅動部，驅動所述第2按壓部件；及 控制部；且 所述第1支撐部件包含限制所述襯底超過預先確定的規定位置向所述第1方向移動的移動限制部， 所述控制部 在所述移動限制部位于所述規定位置的狀態下，通過控制所述第1按壓驅動部，使支撐在所述第1及第2支撐部件上的所述襯底在所述第1方向移動，并使所述襯底的所述其它部分抵接于所述移動限制部， 在所述襯底的所述其它部分抵接于所述移動限制部之后，在由所述第1及第2支撐部件支撐的所述襯底的所述一部分被所述第1按壓部件按壓的狀態下，通過控制所述第2按壓驅動部，使所述第2按壓部件在所述第2方向按壓所述襯底的外周端部的所述其它部分。

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