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龍圖騰網獲悉南京航空航天大學申請的專利一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電外延薄膜獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115000290B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210580006.5，技術領域涉及：H10N30/076；該發明授權一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電外延薄膜是由劉亞靜;李偉偉;楊浩設計研發完成，并于2022-05-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電外延薄膜在說明書摘要公布了：本發明提供一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電PbZr0.53Ti0.47O3外延薄膜，該薄膜通過以下方法制備：S1、以BaTiO3BTO、SrRuO3SRO、Pb1.1Zr0.53Ti0.47O3PZT靶材作為生長源，將云母粘在基片托上烘干，作為襯底；將生長源和襯底置于腔內，并抽真空；S2、啟動加熱系統加熱爐體后，打開氧氣進氣閥門，固定氧氣分壓在0.1mbar，打開krF激光出光，調整激光打在BTO和SRO靶材上的能量密度為1.1J·cm?2，頻率為3Hz，依次生長BTO緩沖層和SRO底電極層；S3、BTO和SRO層沉積結束后，繼續升溫并將氧氣分壓固定在0.15mbar，激光能量密度固定在1.36J·cm?2，頻率為4Hz，沉積PZT鐵電層；S4、PZT鐵電層沉積結束后，PZTSROBTO云母薄膜在5mbar的氧氣分壓下原位退火15分鐘，然后自然冷卻降至室溫。

本發明授權一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電外延薄膜在權利要求書中公布了：1.一種抗高劑量伽馬射線輻射和耐高溫的柔性鐵電PbZr0.53Ti0.47O3外延薄膜，其特征在于，通過以下方法制備： S1、以BaTiO3、SrRuO3、Pb1.1Zr0.53Ti0.47O3靶材作為生長源，將云母粘在基片托上烘干，作為襯底；將生長源和襯底置于腔內，并抽真空； S2、啟動加熱系統加熱基片托至基片表面溫度達630℃，打開氧氣進氣閥門，固定氧氣分壓在0.1mbar，打開krF激光出光，調整激光打在BTO和SRO靶材上的能量密度為1.1J·cm-2，頻率為3Hz，依次生長BTO緩沖層和SRO底電極層； S3、BTO和SRO層沉積結束后，繼續升溫至基片表面溫度達650℃并將氧氣分壓固定在0.15mbar，激光能量密度固定在1.36J·cm-2，頻率為4Hz，沉積PZT鐵電層，得到PZTSROBTO云母薄膜； S4、PZT鐵電層沉積結束后，PZTSROBTO云母薄膜在5mbar的氧氣分壓下原位退火15分鐘，然后冷卻降至室溫。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京航空航天大學，其通訊地址為：210016 江蘇省南京市秦淮區御道街29號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。