應用材料公司楊揚獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于基板處理的脈沖電壓增壓獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115868003B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202280005624.5，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權用于基板處理的脈沖電壓增壓是由楊揚;郭岳;K·拉馬斯瓦米設計研發完成，并于2022-05-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于基板處理的脈沖電壓增壓在說明書摘要公布了：本文提供的實施例大體包括用于提升處理腔室中電極電壓的設備、等離子體處理系統和方法。示例等離子體處理系統包括處理腔室、多個開關、設置在處理腔室中的電極、電壓源和電容元件。電壓源經由多個開關中的一個開關選擇性地耦合到電極。電容元件經由多個開關中的一個開關選擇性地耦合到電極。電容元件和電壓源并聯耦合到電極。多個開關被配置成在第一階段期間將電容元件和電壓源耦合到電極，在第二階段期間將電容元件和電極耦合到接地節點，并且在第三階段期間將電容元件耦合到電極。
本發明授權用于基板處理的脈沖電壓增壓在權利要求書中公布了：1.一種處理基板的方法，包括以下步驟： 在第一階段期間，將電容元件和電壓源耦合到設置在處理腔室內的電極，其中所述電容元件和所述電壓源并聯耦合到所述電極； 在第二階段期間將所述電容元件和所述電極耦合到接地節點；以及 在第三階段期間，將所述電容元件耦合到所述電極，并將所述電極從所述接地節點解耦。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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