西安應用光學研究所王松林獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安應用光學研究所申請的專利一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114649195B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210231012.X,技術領域涉及:H01L21/02;該發明授權一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法是由王松林;張建付;楊崇民;劉青龍;米高園;昌明;李明偉;陶忠設計研發完成,并于2022-03-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法在說明書摘要公布了:本發明屬于光學技術領域,具體涉及一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法,該方法將將鋅粉或鋁粉大致均勻地撒在鍍有ITO薄膜的光學基底表面;用軟性耐腐蝕物蘸取鹽酸對ITO薄膜表面反復均勻擦拭,然后將擦拭好的光學基底放在清水槽中用超聲波清洗,去除表面水分。該方法對于光學基底表面鍍制的ITO薄膜,能夠有效、快速地實現去除ITO薄膜,不易損傷光學基底表面。該方法不僅適用于化學穩定性較好的k9玻璃、石英玻璃等光學材料,同時也適用于ZnS、ZnSe、藍寶石、CaF2、BaF2等易腐蝕易損傷光學基底。
本發明授權一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法在權利要求書中公布了:1.一種光學基底表面ITO薄膜的高效去除方法,其特征在于,所述方法包括如下步驟: 步驟1:給將要去除的ITO薄膜表面撒適量的金屬粉; 步驟2:使用柔性且耐酸的工具,蘸取鹽酸液,在撒有金屬粉的ITO薄膜表面反復輕擦,使ITO薄膜被快速分解,同時不損傷光學基底表面; 步驟3:使用清水超聲波清洗去膜后的光學基底,并做脫水處理; 其中,所述步驟1中,所述金屬粉為易與鹽酸反應的金屬粉材料。
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