紹興中芯集成電路制造股份有限公司熊俊劍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉紹興中芯集成電路制造股份有限公司申請的專利芯片篩選方法、系統、計算機設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114628267B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210103230.5，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權芯片篩選方法、系統、計算機設備及存儲介質是由熊俊劍;高冰玲設計研發完成，并于2022-01-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本芯片篩選方法、系統、計算機設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本發明公開了一種芯片篩選方法、系統、計算機設備及存儲介質，芯片篩選方法包括：獲取晶圓的掃描缺陷圖，掃描缺陷圖為以預設掃描方式掃描晶圓上至少一個芯片獲取，掃描缺陷圖包括測試結構及與測試結構相連的偽不良芯片；獲取具有單個圖示重復單元的標準影像圖；根據掃描缺陷圖采用預設圖示重復單元菜單程序，生成至少一個光罩影像圖，光罩影像圖與圖示重復單元一一對應，圖示重復單元內具有至少一個芯片；根據標準影像圖與各光罩影像圖的比較結果，判斷偽不良芯片是否為合格芯片，有效過濾切割道測試結構，避免無缺陷的偽不良芯片被誤抓，極大提高產品出貨良率。
本發明授權芯片篩選方法、系統、計算機設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種芯片篩選方法，其特征在于，包括： 獲取晶圓的掃描缺陷圖，所述掃描缺陷圖為以預設掃描方式掃描所述晶圓上至少一個芯片獲取，所述掃描缺陷圖包括測試結構及與所述測試結構相連的偽不良芯片，測試結構位于所述晶圓的切割道上； 獲取具有單個圖示重復單元的標準影像圖，多個圖示重復單元將晶圓上所有芯片均勻等分，各圖示重復單元內的芯片數量相同，標準影像圖中測試結構的數量與光罩影像圖中測試結構的數量相同，及標準影像圖中測試結構的位置與光罩影像圖的測試結構的位置相同； 根據所述掃描缺陷圖采用預設圖示重復單元菜單程序，生成至少一個光罩影像圖，所述光罩影像圖與所述圖示重復單元一一對應，所述圖示重復單元內具有至少一個芯片； 根據所述標準影像圖與各所述光罩影像圖的比較結果，判斷所述偽不良芯片是否為合格芯片。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人紹興中芯集成電路制造股份有限公司，其通訊地址為：312000 浙江省紹興市越城區皋埠鎮臨江路518號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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