紹興中芯集成電路制造股份有限公司項少華獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉紹興中芯集成電路制造股份有限公司申請的專利體聲波器件及其制作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114465588B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111676881.5，技術領域涉及：H03H3/02；該發明授權體聲波器件及其制作方法是由項少華;王沖;陳國基;劉國安設計研發完成，并于2021-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本體聲波器件及其制作方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種體聲波器件及其制作方法，其中體聲波器件的制作方法包括：提供基底，基底具有發射器件區與接收器件區；于基底上形成第一功能層，第一功能層至少覆蓋發射器件區與接收器件區；于第一功能層上形成刻蝕停止層；于刻蝕停止層上形成第二功能材料層；基于刻蝕停止層，去除對應接收器件區的第二功能材料層，剩余的第二功能材料層構成第二功能層，第二功能層與第一功能層共同形成功能結構層，體聲波器件的壓電層或者底電極層或者頂電極層包括該功能結構層。本申請可以有效降低體聲波器件的制作成本。
本發明授權體聲波器件及其制作方法在權利要求書中公布了：1.一種體聲波器件的制作方法，其特征在于，包括： 提供基底，所述基底具有發射器件區與接收器件區； 于所述基底上形成第一功能層，所述第一功能層至少覆蓋所述發射器件區與所述接收器件區； 于所述第一功能層上形成刻蝕停止層； 于所述刻蝕停止層上形成第二功能材料層； 基于所述刻蝕停止層，去除所述接收器件區上的第二功能材料層，剩余的所述第二功能材料層構成第二功能層，所述第二功能層與所述第一功能層共同形成功能結構層； 其中，所述體聲波器件的壓電層或者底電極層或者頂電極層包括所述功能結構層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人紹興中芯集成電路制造股份有限公司，其通訊地址為：312000 浙江省紹興市越城區皋埠鎮臨江路518號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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