恩特格里斯公司C·瓦爾德弗里德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉恩特格里斯公司申請的專利氟化釔膜和制備和使用氟化釔膜的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115485411B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180032124.6，技術領域涉及：C23C16/40；該發明授權氟化釔膜和制備和使用氟化釔膜的方法是由C·瓦爾德弗里德;S·隆戈;P·蒂亞吉設計研發完成，并于2021-04-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本氟化釔膜和制備和使用氟化釔膜的方法在說明書摘要公布了：本發明描述氟化釔組合物，包括含有氟化釔的沉積膜，例如涂層；制備氟化釔組合物和含有氟化釔的沉積膜涂層的方法；以及具有在表面處含有氟化釔的沉積膜涂層的襯底和包括所述襯底的方法和設備。
本發明授權氟化釔膜和制備和使用氟化釔膜的方法在權利要求書中公布了：1.一種制備氟化釔的方法，所述方法包含： 沉積氧化鋁層至襯底上形成表面， 通過原子層沉積將氧化釔膜沉積至所述表面上，和 使所述氧化釔膜曝露于分子氟源蒸氣和高溫，以將所述氧化釔膜轉化成氟化釔，其中所述分子氟源蒸氣通過對氟化聚合物加熱衍生，其中所述氧化釔膜的外表面轉化成氟化釔YF3，其中所述高溫超過攝氏300度，且其中所述方法不包含等離子體。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人恩特格里斯公司，其通訊地址為：美國馬薩諸塞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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