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龍圖騰網獲悉季華實驗室申請的專利薄膜厚度檢測方法、系統、設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120274654B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510758018.6，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權薄膜厚度檢測方法、系統、設備及存儲介質是由秦燕亮;安寧;涂政乾;黃偉華;徐成;李義設計研發完成，并于2025-06-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本薄膜厚度檢測方法、系統、設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請公開了一種薄膜厚度檢測方法、系統、設備及存儲介質，涉及薄膜測量技術領域，包括：測量待測薄膜的傾斜角度，并獲取待測薄膜的光譜干涉信號；基于光譜干涉信號對待測薄膜的厚度進行解析，得到待測薄膜的誤差厚度；根據傾斜角度對誤差厚度進行修正，得到待測薄膜的實際厚度。本申請通過在傳統薄膜厚度測量過程中引入傾斜角度補償機制，避免了因薄膜表面非水平或設備振動導致的測量失準的問題，從而直接消除了因傾斜引起的入射角變化對光程差的影響，確保了實際厚度值的真實還原，進而保障了實際生產中對薄膜厚度檢測的嚴苛要求。

本發明授權薄膜厚度檢測方法、系統、設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種薄膜厚度檢測方法，其特征在于，所述薄膜厚度檢測方法包括： 測量待測薄膜的傾斜角度，并獲取所述待測薄膜的光譜干涉信號，其中，所述傾斜角度包括所述待測薄膜各區域的區域傾斜角度； 基于所述光譜干涉信號對所述待測薄膜的厚度進行解析，得到所述待測薄膜的誤差厚度，其中，所述誤差厚度包括所述待測薄膜各區域的區域誤差厚度； 對于所述待測薄膜中的任意一個目標區域，確定各區域傾斜角度和各區域誤差厚度中，所述目標區域對應的目標區域傾斜角度和目標區域誤差厚度，其中，所述目標區域傾斜角度包括所述目標區域中各子區域的子區域傾斜角度，所述目標區域誤差厚度包括所述目標區域中各子區域的子區域誤差厚度； 對于所述待測薄膜中的任意一個目標子區域，確定各子區域傾斜角度和各子區域誤差厚度中，所述目標子區域對應的目標子區域傾斜角度和目標子區域誤差厚度，其中，所述目標子區域傾斜角度包括橫軸傾斜角度和縱軸傾斜角度； 基于所述橫軸傾斜角度的余弦值和所述縱軸傾斜角度的余弦值的乘積，確定厚度修正參數； 根據所述厚度修正參數與所述目標子區域誤差厚度的乘積，確定所述目標子區域的子區域實際厚度； 在遍歷各目標子區域后，基于各子區域實際厚度確定所述目標區域的區域實際厚度； 在遍歷各目標區域后，基于各區域實際厚度確定所述待測薄膜的實際厚度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人季華實驗室，其通訊地址為：528200 廣東省佛山市南海區桂城街道環島南路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。